| 참조번호 | 품목분류47281-369 |
|---|---|
| 시행일자 | 2002-04-25 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 9027.10-0000 |
| 품명 | Gas or smoke analysis apparatus ; ①Condensation Nucleus Counter ; CNC1104, 1101 ②Surface Particle Detector ; QⅢ |
| 물품설명 |
① 반도체 프로세스내의 파티클을 알코올(부탄올)이 있는 쳄버로 이동, 이를 기화시켜 알콜이 파티클을 감싸도록 한 후 이를 응축 시켜 파티클을 일정크기로 확대(성장)시켜 측정하는 기기로 이는 일반적인 Particle Counter가 0.01㎛를 측정하기 어려우므로 일정크기로 확대(성장)하여 측정하기 위한 원리임
② 반도체생산라인의 웨이퍼표면 및 장비표면의 먼지오염정도를 측정하기 위해 만들어진 제품으로 생산장비 표면 또는 웨이퍼표면에 직접 설치하여 웨이퍼표면상의 먼지의 오염정도를 감시하여 생산을 중단시키는 목적으로 사용되는 것으로 레이저를 이용 먼지와 충돌한 응답값을 이용하여 파티클의 size화하는 기기로 표시단위는 인치(또는 ㎠)당 갯수로 표시되며, 소프트웨어를 통하여 PC상에서 농도로 표시가능함 |
| 결정사유 |
ㅇ 본 품은 청정실내의 공기를 알코올(부탄올)이 있는 쳄버로 이동시킨 후 이를 기화, 응축시켜 공기중 파티클에 레이저를 방사하여 이를 별도의 지시계 및 컴퓨터에 측정신호를 전달하는 기기로
ㅇ 제9027호해설서에는 가스중의 먼지(Dust)분석장치를 제9027.10호에 분류 ㅇ ②의 물품은 표시계{갯수/inch(or ㎠), 소프트웨어를 통할 경우 농도%도 분석이 가능}를 갖추고 있는 기기로 클린룸내의 공기중의 파티클을 측정하는 기기로 HSK9027.10-0000호에 분류 ㅇ ①의 물품은 측정, 검사기능을 위한 표시계를 갖추고 있지 아니하나, 클린룸내에 존재하는 공기중의 먼지를 측정하는 기기의 주요한 특성으로 파티클이 혼입된 공기의 쳄버로 이동, 부탄올의 응축, 이를 통한 파티클 성장, 레이저방사 등의 매연(smoke)분석의 주요한 특성을 갖추고 있는 기기로 ㅇ 관세율표해석에관한통칙2에는 불완전한 물품이 제시된 상태에서 완전한 물품의 본질적인 특성을 가지고 있으면 불완전의 물품이 포함되는 것으로 규정 ㅇ 따라서, 본 품은 가스중의 매연(Smoke)분석기의 주요한 특성을 갖추고 있는 기기로 HSK9027.10-0000호에 분류한다. |
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