| 참조번호 | 품목분류47281-369 |
|---|---|
| 시행일자 | 2002-04-25 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 9027.10-0000 |
| 품명 | Gas or smoke analysis apparatus ; Remote Particle Counter ; R4803/R4805, 4903 |
| 물품설명 | ㅇ 반도체생산라인의 생산설비(CVD, Etcher장비의 로드락, 클린룸등에 장착)에 설치되어 웨이퍼 및 칩 표면의 파티클오염정도를 연속측정하기 위해 만들어진 센서로 생산장비내 또는 웨이퍼 부근에 설치하여 웨이퍼표면의 파티클을 진공으로 흡착, 여기에 레이저를 방사하여 파티클과 충돌한 빛의 산란의 세기는 파티클의 크기에 비례하는 원리를 이용하여 파티클의 크기와 개수를 측정 |
| 결정사유 |
ㅇ 본 품은 청정실내의 공기중 입자의 크기와 양을 측정하는 기기로 HS9027호 관세율표해설서(11)가스중의 먼지분석장치“일정량의 가스가 필터디스크를 통해 통과되도록 하여 측정전후의 무게를 측정하는 장치이다”
ㅇ 가스는 기체상의 물질의 총칭이며, 먼지(dust)는 일반적으로 분진(粉塵)이라고 하는 것으로 공기나 가스속에서 부유하는 고체미립자로 정의 (dust n. 1. Fine, dry particles of matter. 2. A cloud of fine, dry particles. 3.Particles of matter regarded as the result of disintegration: fabric that had fallen to dust over the centuries.) ㅇ 분석기는 측정시료를 대상으로 목적성분별로 조성함량 등을 분석 또는 확인(동정분석)하는 것으로 분류 ㅇ 본 품은 반도체생산설비중에 설치되어 기체상 물질을 진공으로 흡입한 후, 공기중에 포함된 파티클의 크기와 개수를 측정하는 기기로 표시기능과 출력장치는 없으나, ㅇ 제9027호해설서에 : Tyndallometer(틴달로미터, 부유분진측정기)를 본호에 분류하도록 해설하고 있고, 컴퓨터에 연결하면 소프트웨어에 의하여 바로 측정가능하도록 제작되어 가스 또는 매연분석기의 본질적인 기능을 갖춘 기기로 가스중의 먼지분석장치로 HSK9027.10-0000호에 분류한다. |
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