| 참조번호 | 평가분류47281-739 |
|---|---|
| 시행일자 | 2001-08-06 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 8516.80-0000 |
| 품명 | ALN Heater 8" ; Aluminum Nitride Heater ; Ceramic Heater |
| 물품설명 |
ㅇ Heat Block : ALN(Aluminum Nitride)재질로 된 Heater 몸통부분
ㅇ Terminal : Heater 전원공급단자 ㅇ TC Hole : Heater의 온도를 감지하기 위한 Termocouple을 장착하는 구멍 ㅇ Heat element : Heater Block내부에 있는 열선 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 해설서 제8516호에 "탄소의 전열저항체(제8545호)를 제외하고 모든 전열저항체는 그것이 사용되는 기기의 분류에 관계없이 이호에 분류된다."라고 설명하면서
- "전열저항체는 어떤 특정기기에 전용되는 것이라 할지라도 이 호에 분류되고 간단한 절연체 및 전기접속부분이 조립되어 있는 것도 포함"함을 서술하고 있는 바, ㅇ 본 건 물품은 텅스텐을 열선(저항선)으로, 절연체로서는 ALN의 세라믹을 사용하고, 이에 간단한 전원접속부분 등이 있는 것임으로 - 동 물품이 비록 반도체 웨이퍼 가공공정의 일종인 CVD공정장비의 Heating Chamber(전기로)에 장착되어 사용되는 것으로서 반도체웨이퍼 가공에 있어 필수적인 요소라 할지라도 - 상기 해설서 내용에 언급되고 있는 "간단한 절연체 및 전기접속부분이 조립돤 것"에 해당함으로 특정기기에 사용된다할 지라도 당해기기의 부분품으로 분류할 수 없는 것임 ㅇ 따라서 반도체 웨이퍼를 일정온도(750도)까지 가열하고 이를 지속적으로 유지시키기 위한 발열판(Heater)의 기능을 수행하는 본 건 물품은 HS제8516호의 Heading에 게기된 전열용저항체"로 보아 통칙1에 의거 HSK8516.80-0000호에 분류함 |
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