| 참조번호 | 평가분류47281-111 |
|---|---|
| 시행일자 | 2001-02-01 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 8479.90-3010 |
| 품명 | Machines parts for deposition membrance on wafer;Susceptor Plate |
| 물품설명 | Wafer상에 절연막을 증착하는 CVD장비에 장착되는 부품으로 두께 4.5mm,직경 200mm인 원판에 4개의 홀이 있으며 순수알루미늄 재질에 표면은 Anodizing처리가 된 물품으로 Wafer표면에 온도의 균일보장과 Deposition되는 전열막의 두께를 균일하게 조절, 적정온도를 유지하도록 매순간 온도를 읽어 전달하며, RF Power를 제때에 밖으로 배출시켜 Sticking 현상을 방지하는 물품임 |
| 결정사유 | ㅇ본 물품은 알루미늄 재질에 Anodizing(양극산화)처리, 온도 Reader용 TC(Thermal Couple)가 내장되어 Wafer의 온도를 균일하게 유지·전달, Wafer표면의 절연막의 두께를 균일(불균일도 3%미만), Wafer 지지(Wafer Lift Finfer)기능을 하도록 제작된 물품으로 3개월마다 Rf와 GAS에 의하여 표면불량으로 교체되는 CVD장비에 전용되는 소모성부분품으로 제16부주2나『특정한 기계에 전용 또는 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호에 분류한다』에 따라 HSK8479.90-3010호에 분류함 |
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