| 참조번호 | 평가분류47281-231 |
|---|---|
| 시행일자 | 2000-03-21 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 8539.49-1010 8539.49-1090 |
| 품명 | Ultra-violet lamps; OSRAM HBO Mercury Short Arc lamps |
| 물품설명 |
ㅇ 반도체 노광장비에 장착되어 마스크나 웨이퍼를 노광할 때 사용하는 램프로서 자외선을 방출하는 아크방식의 램프임
ㅇ 석영유리로 만들어진 방전관에 수은과 가스가 충전되어 있으며 양쪽에 일정한 간격을 두고 두 개의 전극(텅스텐제)이 있음 ㅇ 두 개의 전극사이에서 가스방전에 의해 광원이 발생함 |
| 결정사유 |
ㅇ 쟁점물품은 비록 상기한 관세율표해설서상 아크램프에 관한 설명중①,②에는 부합되나, 사용에 따라 전극이 마모되어 간격이 생길 경우 이를 조정하기위한 자동장치가 부착되어 있지않고, 쟁점물품에 다른 기기들이 부착되어 있지 않으므로 ③,④에 부합되지 않아 아크램프로 분류할 수 없으며
ㅇ 쟁점물품은 아크방식(기체속에서 두 전극간에 전류를 흘려보낼 때 일어나는 방전현상)에 의해 강력한 자외선을 방출(자외선의 파장:100~380nm, 쟁점물품은 자외선 365nm)하는 물품으로서 노광기에서 노광을 위한 램프로 사용되는 바 ㅇ 9010호 관세율표해설서에 의하면 노광기는 주로 자외선(X선도 이용)을 이용하여 노광한다는 설명에 따라 쟁점물품의 주요한 특성이 노광을 위한 자외선의 방출에 있다고 볼 수 있으므로 아크방식을 이용한 자외선 램프로 분류하되 반도체 제조용 기기에 사용되는 것은 8539.49-1010호에, 기타 용도의 것은 8539.49-1090호에 분류하는 것이 타당함. |
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