| 참조번호 | 평가분류47281-405 |
|---|---|
| 시행일자 | 2000-05-10 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 8541.50-9000 |
| 품명 | Other Semiconductor Device; Silicon Electrode ; Rainbow 4500/4520/ EXCELAN |
| 물품설명 |
ㅇ 본 물품은 Ingot형태로 성장시킨 Single crystal을 적당한 크기로 절단하여 열처리(확산처리), 초음파 가공, 에칭, 세정등의 제조공정을 거쳐 만든 제품으로 GAS가 고루 분사될 수 있도록 수천개의 구멍이 천공되어 있는 물품으로
ㅇ 반도체 제조장비중 프라즈마 건식장비의 챔버내에 설치되어 GAS의 균일분사 및 고주파의 전극역할을 하는 물품으로 발생된 프라즈마로 실리콘웨이퍼를 식각함 |
| 결정사유 | 본물품은 디스크상의 물품으로 제28류의 원소인 규소를 전자공업에 사용하기 위하여 붕소를 도프처리 및 전극으로 사용하기 위하여 전 표면의 저항치를 균일하게 하기 위한 확산처리 과정을 거친물품이므로 제16부주2(a)및 제8466해설서(e),제3818호 및 제8541해설서 규정에 따라 동 물품을 HSK8541.50-9000호에 분류함 |
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