| 참조번호 | 검사분류47280-149 |
|---|---|
| 시행일자 | 1999-03-05 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 9031.41-9000 8514.90-1010 |
| 품명 | ①defect inspection system;②heater,for Vertical diffusion furnace |
| 물품설명 |
①laser부,wafer stage, receiving, signal processing,display부,defect review system
②스텐레스 스틸로 만든 원통형으로 외부에 전원공급, 온도 조절, 센서를 연결할 수 있도록 단자가 있음 |
| 결정사유 |
①본 기기의 측정 원리는 laser부에 장착된 광학렌즈 및 편광filter를 통하여 wafer 표면에 빛이 주사되며 이 빛은 반사 및 난반사 되어서 PMT(광증폭관)에 의해 전기적 신호로 변환되어 웨이퍼 표면의 결함을 측정하는 것임
②본 물품은 스텐레스 스틸로 만든 원통형으로 웨이퍼가 들어갈 수 있도록 만들어져 있고 내부 발생열의 손실을 막는 역할을 하도록 2중의 단열재가 있다. |
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