| 참조번호 | 검사분류47281-278 |
|---|---|
| 시행일자 | 1998-06-10 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 9031.41-9000 |
| 품명 | Edge profile monitor |
| 물품설명 | 웨이퍼를 측정스테이지에 centering한 후 CCD CAMERA에 부착된 광학렌즈를 통하여 웨이퍼의 영상을 받아 이를 컴퓨터 기능에 의해 68배로 확대 분석하여 반도체웨이퍼의 두께, 각도, 크기등을 측정하는 기기 |
| 결정사유 | 웨이퍼를 측정스테이지에 centering한 후 CCD CAMERA에 부착된 광학렌즈를 통하여 웨이퍼의 영상을 받아 이를 컴퓨터 기능에 의해 68배로 확대 분석하여 반도체웨이퍼의 두께, 각도, 크기등을 측정하는 기기로 관세율표상 반도체웨이퍼 및 소자검사용의 기기가 분류되는 9031.41-9000호에 분류됨. |
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