| 참조번호 | 품목분류3과-3304 |
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| 시행일자 | 2026-06-08 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 6903.20-9000 |
| 품명 | Al2O3 Tray ; Tray 4Inch(7Pocket) ; CR1RD030476-01N |
| 물품설명 |
ㅇ 물품 개요
- 알루미나(Al2O3) 등을 혼합 성형 후 소결(1,645℃)한 유백색의 원반 형상의 제품으로 7개의 웨이퍼용 포켓(∅100mm)이 가공되어 있음 - (규격) 지름 340mm, 두께2.6mm, 450g, 모스경도 9이상, Al2O3 99.5% 이상, 내화도 SK36이상(1,800℃), 수분흡수율 0% - (용도) 반도체 MOCVD(유기금속 화학기상증착장비)에 장착되는 소모품으로, 웨이퍼의 위치를 일정하게 유지시켜 공정 안전성과 반복성 확보 ㅇ (제조공정) POWDER 입고 → SLURRY MIX → 스프레이 드라이(슬러리를 구형의 건조 입자로 전환) → CIP성형(고무 몰드에 넣은 형성체를 액체 압력(2000~3000 bar)으로 전방향 압축 성형체화) → Green가공(포켓 등의 일부 형상 황삭가공) → 소결(1,645℃) → Crack검사 → 두께 가공 → MCT가공 → 후처리 → 검사 → 세정 → 포장 ㅇ 기능 및 작동원리 - MOCVD 장비 Susceptor 위에 거치되며, 웨이퍼 7장을 안정적으로 고정하고 웨이퍼의 온도를 균일하고 일정하게 가열하게 함 (※MOCVD공정온도: 화주제시 자료(1,000∼1,200℃)/업계자료(500∼1,500℃)) - 로딩·언로딩 시 자동 핸들링 로봇이 Tray를 인식하여 웨이퍼를 옮기거나 다시 회수 처리함 (※ 신청물품 장착 관련 자료 미제출) |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제84류 주 제1호 나목에서 “도자제의 기계류(예: 펌프)와 기계류(어떤 재료라도 가능하다)의 도자제 부분품(제69류)”을 제외하도록 규정하고 있으므로, 제69류의 도자제품에 해당하는지를 우선 검토함
ㅇ 관세율표 제69류 주 제1호에서 “이 류는 성형한 후에 불에 구워서 만든 도자제품에만 적용한다.”라고 규정하고 있고, 제69류 제1절에서 “이 절에서는 점토의 함유에 상관없이 다음의 것을 분류한다. … (B) 내화제품(제6902호와 제6903호) : 즉, 야금․유리공업 등의 고온(예: 섭씨 1,500도 정도나 그 이상의 온도)에서 견디는 특수한 성질을 가지고 있는 소성(燒成)한 제품들이다.”라고 설명하면서, “(1)...소결한 알루미나를 기본 재료로 하여 제조한 고(高)알루미나성 내화제품”을 예시함 ㅇ 본건 물품은 알루미나(AL2O3) 파우더를 혼합, 성형, 소성, 정밀가공 등을 거쳐 만든 물품으로 제69류의 도자제품에 해당하므로 제84류에 분류할 수 없음 - 또한, 제16부 주 제2호에서 “기계의 부분품은 이 부의 주 제1호, 제84류의 주 제1호, 제85류의 주 제1호에 규정한 것 외에는 다음 각 목에서 정하는 바에 따라 분류한다.”라고 규정하고 있으므로 본건 물품이 제84류 주 제1호에 따라 제69류에 분류되면 제16부 주 제2호 부분품 규정은 적용하지 않음 ㅇ 관세율표 제6903호에는 “그 밖의 내화성 도자제품[예: 레토르트(retort)ㆍ도가니ㆍ머플ㆍ노즐ㆍ플러그ㆍ서포트ㆍ큐펠(cupel)ㆍ관(管)ㆍ쉬드(sheath)ㆍ막대(rod)ㆍ슬라이드 게이트(slide gate)](규조토나 이와 유사한 규산질의 흙으로 만든 제품은 제외한다)”이 분류됨 ㅇ 본건 물품은 알루미나(Al2O3, 99.5% 이상) 분말을 성형한 후에 소결(1,645℃)하여 만든 것으로 고온(예: 섭씨 1,500도 정도나 그 이상의 온도)에서 견디는 성질을 가지고 있을 뿐만 아니라 실제로 고온 환경(1,000∼1,200℃)의 MOCVD 장비에 사용되는 물품이므로 내화성 도자제품에 해당함 ㅇ 따라서, 본건 물품은 알루미나로 만든 그 밖의 내화성 도자제품으로 보아 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제6903.20-9000호에 분류함 |
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