| 참조번호 | 품목분류4과-4291 |
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| 시행일자 | 2025-10-01 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8418.69-2090 |
| 품명 | Cryochiller; E30001024; W',CHILLER,CRYO,MIXED REFRIGERANT,GEN2 |
| 물품설명 |
- ‘압축-응축-팽창-증발 냉각 사이클’을 통해 냉매를 냉각하는 Polycold Unit와 ‘줄-톰슨 효과’를 활용하여 냉각가스를 냉각하는 Cold Box로 구성된 Closed Loop(폐쇄형) 방식의 극저온 냉동 시스템
- 구성 요소 및 기능 ① N2 Gas Compressor : 상온-상압의 N2 Gas를 압축하여 Cold Box에 고압의 N2 Gas 공급 ② Cold Box :하여 Poly Gas와 N2 Gas 사이의 응축 및 열교환을 수행하고 N2 Gas를 줄-톰슨 방식으로 냉각 ③ Poly Cold unit(Polycold Cryochiller) : 순환 냉매로 사용하는 Poly Gas를 압축-응축-팽창-증발의 냉각 사이클을 통해 냉각한 후, 채널 1을 통해 Cold Box의 N2 Gas 냉각을 보조하고, 채널 2를 통해 Pre Cool Unit에 냉각을 공급 ∙ Circuit #1. (Ch. #1.) 냉매인 Poly Gas를 Cold Box로 공급하여 N2 Gas와 응축 및 열교환으로 냉각을 보조하고, 이를 다시 Poly Cold Unit으로 회수 ∙ Circuit #2. (Ch. #2.) 냉매인 Poly Gas를 Pre-cool station*을 공급하여 Wafer를 예냉하고 이를 다시 Poly cold Unit으로 회수 * Wafer가 Process Module로 전달되기 전에 예냉(Pre-cool)을 하는 station ④ Electrical box N2 Compressor와 Cold Box의 전원을 관리학 OEM 시스템과 Wafer Chuck Cooler의 구성 요소 간의 통신을 분배 - 주요 기능 및 작동 원리 ① 주요기능 가. Process Module 냉각 Cold Box에서 냉각된 N2 Gas는 Process Module에 냉각을 공급하여, 웨이퍼 가공에 사용되는 Wafer chuck(ESC Plate)을 –164℃까지 냉각하는데 사용. 나. Pre-cool Module 냉각 Poly Cold Unit을 통해 Pre-cool Module(Pre-cool station)로 Poly gas 냉매를 공급하여 -100℃까지의 공정 환경을 설정하여 Wafer를 예냉 ② 작동원리(냉각원리) 가. Cold Box의 냉각원리(Process Module 냉각) Cryochiller의 Cold Box에서는 ‘줄-톰슨 효과(Jule-Thomson effect)’를 활용하여 상온 및 상압(통상 25℃, 1atm(=14.7psi))의 N2 gas를 압축과 팽창, 열교환 과정을 재순환(Recirculation)하여 목표 온도(-164℃)까지 냉각. 이 과정에서 Poly-cold Unit로부터 지원받은 냉매와 응축 및 열교환을 수행하여 냉각을 보조함. ※ N2 gas 공급 및 배출 : Cold Box 상단에 N2 gas 투입구 및 배출구가 존재하며, 이를 통해 상온 및 상압, 순도 99.999%의 N2 gas를 투입. 투입된 N2 gas는 Closed(폐쇄) Loop에서 재순환을 통해 냉각되며, 이후 필요에 따라 N2 gas 투입구 및 배출구를 통해 N2 gas를 배출하거나 보충함 나. Polycold Unit 냉각원리(Procool Module 냉각) Polycold Unit에서는 ‘압축-응축-팽창-증발’의 냉각 사이클(Closed-Loop)을 통해, Poly-gas 냉매(Mixed Gas Refrigerant; MGR)를 냉각. 냉각된 Poly-gas를 Cold Box로 공급하여 N2 gas의 냉각을 지원하고, Pre-cool Module로 공급하여 냉각하는 재순환(Recirculation)과정을 반복하여 목표 온도까지 냉각 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제8418호에는 “냉장고·냉동고와 그 밖의 냉장기구나 냉동기구(전기식인지에 상관없다), 열펌프(제8415호의 공기조절기는 제외한다)”를 규정하고 제8418.6호에 “그 밖의 냉장기구나 냉동기구와 열펌프”를 규정함
- 같은 호 해설서에서 ‘(I) 냉장고ㆍ냉동고와 그 밖의 냉장기구나 냉동기구’에서 “이 호의 냉장고(refrigerator)와 냉장기구(refrigerating equipment)는 액화가스[예: 암모니아(ammonia)·할로겐(halogen)화된 탄화수소]·휘발성 물체·물(특정 선박용의 경우에서)의 기화에 따른 잠열(潛熱 : latent heat)의 흡수에 의하여 저온(섭씨 0℃ 전후나 그 이하의 온도)을 연속적인 사이클의 조작으로 적극적으로 냉각기에서 발생시키기 위한 기계나 장치의 조립물이다.”라고 해설함 - 또한 이 호의 냉장고는 ‘(1)압축기, (2)응축기, (3)증발기’를 주요한 요소로 하는 ‘압축형 냉장고’ 등의 형태가 있다고 해설하면서 “(1) 압축기(모터가 달린 것인지에 상관없다)와 응축기를 동상(同床)에 부착시킨 기기(증발기를 완전히 갖춘 것인지에 상관없다) ; 흡수장치를 갖춘 기기(이러한 기기는 보통 가정형 냉장고나 그 밖의 냉장용 캐비닛에 결합되어 사용한다). 액체냉각유닛(liquid‑cooling units)으로 알려진 어떤 압축식 냉각기는 증발기와 냉각시킬 액체를 옮기는 관(tubing)이 내장된 압축기와 열교환기가 동상(同床)에(응축기를 갖춘 것인지에 상관없다) 결합된다. 이 후자의 기계에는 공기조절 시스템에 사용하는 냉각기(chiller)라고 불리는 것도 포함한다.”라고 해설하며 “이 호에는 밀실 중에서 액화가스를 기화시켜 냉동을 하는 기기도 포함한다”라고 해설하고 있음 ㅇ 본 물품은 압축-응축-팽창-증발 냉각 사이클’을 통해 냉매를 냉각하는 Polycold Unit와 ‘줄-톰슨 효과’를 활용하여 냉매를 냉각하는 Cold Box로 구성되어 있음 - 제8418호의 냉장․냉각 방법이 냉각 사이클에 의한 냉각만을 의미하지 않아 줄-톰슨 효과로 냉매를 냉각하는 것은 제8418호의 냉각방법에 부합하며, 또한 줄-톰슨 효과로 냉매를 냉각하는 것은 제8419호에서 규정하는 온도 변화에 따른 방법으로 재료를 처리하는 것으로 볼 수 없음 ㅇ 따라서 본 물품은 그 밖의 냉동기구로 보아 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호의 규정에 따라 제8418.69-2090호에 분류함. 끝.. |
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