| 참조번호 | 품목분류4과-6948 |
|---|---|
| 시행일자 | 2017-10-13 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8481.80-1030 |
| 품명 | PVM VALVE (02-432051-00) |
| 물품설명 |
ㅇ 반도체 제조 장비 중 Atomic Layer Deposition 공정(ALD장비/장비명: Striker Oxide)에서 사용되는 Valve assy로, Chamber 내부로 증착용 화학재료(Precursor), 가스(purge gas, Reaction gas) 등을 공급(액츄에이터 불포함)
ㅇ 구성요소 ① VALVE : 4개의 구동 밸브로 구성 - VL69 : Divert Line - VL164 : Man-B(N20, Ar, NF3, O2, HE, Ar) - VL165 : Man-A(SiH4, Ar) Man-D(Ar, O2) - VL69 : Man-C(Ar, O2, N20) → 현재 미사용 ② GASKET - 4개의 C-seal gasket을 이용, 3개의 밸브와 1개의 Endcap을 연결하여 가스의 외부 유출을 방지 ③ VLV OPEN/CLOSE SENSOR - 4개의 센서를 통해 실제 개폐여부 확인 및 인터로크(interlock)역할 ㅇ 작동순서 ① 기본적으로 (3)STEM(스프링)이 (6)DIAPHRAGM을 눌러 가스 유입을 막고 있는 상태임 ② 외부에서 컴프레셔를 통해 (1)PNEUMATIC ACTUATOR로 AIR가 주입되면 (3)STEM이 들어 올려지고, ③ (7)SEAT과 맞닿아 있던 (6)DIAPHRAGM이 열려 IN으로 들어온 가스가 OUT으로 흘러나감 ④ (1)ACTUATOR로 AIR(CDA) OFF가 되면 (6)DIAPHRAGM이 다시 (7)SEAT과 맞닿아 가스 흐름을 조정 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제8481호에는 “파이프ㆍ보일러 동체ㆍ탱크ㆍ통이나 이와 유사한 물품에 사용하는 탭ㆍ코크ㆍ밸브와 이와 유사한 장치(감압밸브와 온도 제어식 밸브를 포함한다)”가 분류되며,
- 같은 호 해설서에서 “이 호에는 유체의 흐름(공급용·유출용 등)을 조정하기 위하여 관(管)·탱크·통(vats)이나 이와 유사한 물품이나 그 속에 사용하는 탭·코크·밸브와 이와 유사한 물품을 분류한다.” - “이러한 기기는 개폐구[예: 게이트·디스크·볼(ball)·플러그·니들(needle)이나 다이어프램(diaphragm)]를 열거나 닫음으로써 흐름을 조정한다. 이러한 기기는 수동(키·휠·압식버튼 등으로)이나 전동기·솔레노이드(solenoid)· 시계용 무브먼트 등이나 스프링, 평형·부유(浮遊)레버(float lever)·자동 온도조절 소자(thermostatic element)나 압력 캡슐과 같은 자동장치에 의하여 작동한다.”라고 해설하고 있음 ㅇ 신청물품은 제8481.80소호의 기타의 밸브에 해당하며, 이 물품이 분류 되는 10단위 HSK 품목번호를 검토하면, - 제8481.10-1010호부터 제8481.10-1030호에는 전기식, 액압식 및 기타 자동제어식의 밸브가 분류되며, 제8481.10-1090호에는 기타(수동식)의 밸브가 분류됨 - 본 물품은 전기식이나 액압식 원리를 사용하지 않고, 액츄에이터에 공기를 주입하여 다이어프램을 열고 닫음으로 CHAMBER 내부에 투입되는 가스 등의 흐름을 자동으로 조절하는 것이므로, ‘그 밖의 자동제어식’ 밸브에 해당함 ㅇ 따라서 본 물품은 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호의 규정에 따라 제8481.80-1030호에 분류함 |
| 이미지건수 | 1 |
| 관련 이미지 |
|