| 참조번호 | 품목분류3과-1030 |
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| 시행일자 | 2014-04-01 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9032.89-9090 (03회 품목분류협의회 결정) |
| 품명 | LIQUID FLOW CONTROLLER ; LFC-7000 ;;싱가폴 |
| 물품설명 |
ㅇ 용 도
반도체 제조공정 중 반도체 웨이퍼 표면을 연마하는 CMP장비에 공급되는 액상의 화합물인 연마제(SLURRY)를 일정하게 공급하기 위한 유량 자동 조정기 - 모터의 동력으로 Plunger을 상하로 운동시켜 유량을 조절 ㅇ 조절원리 ⓛ Ultrasonic Flow Meter: : 유량자동조절기 내부로 Flow In된 유량을 초음파 방식으로 확인하여 Controller Board로 그 수치를 전달하는 Flow Meter ② CLC Controller Board : Flow Meter로 전달받은 실제유량과 기 입력된 Set Point 유량 값을 비교하여 두 값을 동일하게 유지하기 위한 신호를 생성하는 제어부 ③ Stepper Motor : Controller Board로 부터 제어 신호를 받아 유량을 조절하는 Control Valve의 구동 역할 ④ Pinch Control Valve : 설정된 유량 값을 설비에 Flow Out하기 위해 Plunger를 상하로 움직여 유체가 흐르는 TUBE에 압력을 가해 폭을 줄여 주는 방법으로 유량을 조절. |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제9032.81 소호의 용어인 “액압식이나 공기식”의 의미에 대한 해석을 살펴보면
ㅇ 동 호 해설서 (Ⅰ) 액체의 유량, 수위, 압력 또는 기타의 변량의 자동조정용기기 또는 온도자동조정용 기기 그룹에 대해 - “액체 또는 기체의 유량, 수위, 압력 또는 기타의 변량의 자동조정용기기 또는 온도자동조정용기기는 .... 일반적으로 기계적, 액체적, 압축공기식 또는 전기적 조절에 의해 원격 조절되는데..”라고 해설하고 있고 - (Ⅱ) 전기적량의 자동조절기 및 비전기적 량의 자동조절기(조정되는 요소에 따라서 변화하는 전기적 현상에 의해 작동한다) 구룹에 대해서도 “이 호의 자동 조정기기는 ...전기식, 압축공기식 또는 액압식 작동기에 연결되며, 작동기는 조절변량을 희망치로 환원하게 된다. ”라고 해설하고 있으므로 “액압식이나 공기식”이란 『작동기의 작동 방식』을 의미함. ㅇ 쟁점 물품의 작동은 Stepper Motor의 작동에 의한 Plunger를 기계적으로 움직이는 방식이므로 “액압식이나 공기식”에 해당하지 않음. - 따라서 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호(제9032호의 용어) 및 제6호에 따라 제9032.89-9090호에 분류함 |
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