| 참조번호 | 품목분류2과-559 |
|---|---|
| 시행일자 | 2010-11-22 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.30-9090 (07회 품목분류협의회 결정) |
| 품명 | ION DOPING SYSTEM(가속이온주입장치) |
| 물품설명 |
ㅇ 물품개요
- AMOLED(Active Matrix Organic Light Emitting Diode)의 TFT (Thin Film Transistor) 형성시 Glass 기판 상의 다결정 실리콘(p-Si) 박막 속에 Dopant 이온을 주입하여 p-Si 박막의 막질을 변화(면저항 감소) 시키는 장비 ㅇ 작동원리 - DC 전원이 걸린 진공 Chamber 속에 Dopant Source Gas (PH3/H2, BF3)를 주입해 Plasma 상태를 만들고 이 Plasma 속의 Dopant 이온들(PHx+, B+)에 판형태의 전극을 이용, 전기장을 가해주어 띠(750×50mm) 형태의 빔으로 가속시킴 - 최대크기 730mm(가로)×920mm(세로) 유기기판 위에 증착, 결정화된 p-Si 박막에 상기의 이온빔을 조사하면 p-Si 박막속의 Si 원자속에 Dopant 이온이 첨가되어 전자 또는 정공 등의 Carrier들을 증가시킴으로서 p-Si 박막의 저항을 감소시킴 |
| 결정사유 |
ㅇ 본건 물품은 AMOLED용 TFT 형성시 Glass 기판 상의 다결정 실리콘(p-Si) 박막 속에 Dopant 이온을 주입하여 p-Si 박막의 막질을 변화(면저항 감소) 시키는 이온주입기임.
ㅇ 관세율표 제8486호에는 반도체 및 평판디스플레이 제조용 기기가 분류되고, 제8486호 내에서 반도체 디바이스 제조용 기계는 제8486.20 소호에, 평판디스플레이 제조용 기계는 제8486.30 소호에 각각 분류됨. ㅇ 제84류 주9 나는 “평판디스플레이의 제조란 기판을 평판으로 제조하는 것을 포함한다고 규정하며, 본건 물품은 평판디스플레이의 일종인 OLED 디스플레이를 제조하기 위한 기기이므로 제8486.30호에 분류가능함. ㅇ 아울러 관세율표 제8486호 해설서는 “(C) 평판디스플레이 제조용 기계와 기기”로서 “도핑용의 이온주입기”를 예시하고 있고, 본건 물품의 가공대상물 또한 반도체 웨이퍼가 아니라 최대 크기 730mm × 920mm의 유리기판이므로 본건 물품은 제8486.30호의 평판디스플레이 제조용 기계에 해당함 ㅇ 따라서 본건 물품은 관세율표해석에관한통칙 1 및 6의 규정에 의거 기타의 평판디스플레이 제조용 기계(제8486.30-9090)로 분류함 |
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