| 참조번호 | 품목분류1과-489 | ||||
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| 시행일자 | 2010-10-13 | ||||
| 시행기관 | 관세평가분류원 | ||||
| 결정세번 | HSK9030.39-9000에 분류한다. (06회 품목분류협의회 결정) | ||||
| 변경내역 |
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| 품명 |
Semiconductor Parameter Analyzer(모델명:4200-SCS/F)
(Invoice 품명 : DC Tester Analyzer) |
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| 물품설명 |
ㅇ 형태 및 구조
① 본체(4200-SCS) : 디스플레이 장치와 내장된 PC(Window NT운영체제)를 갖추고 있고, 측정에 필요한 각종 모듈을 꽂을 수 있는 슬롯, 프로브 스테이션 등 주변 연결기기 및 USB 케이블 등 접속단자 및 CD-RW 드라이브 등이 구성 ② Source Measurement Unit(4200-SMUs(3ea)) : 전압과 전류의 공급 및 측정을 수행하는 모듈 ③ Remote Preamplfier(4200-PA(3ea)) : 공급전류의 범위를 확장(1.5fA~ 1A)시켜 1uV 정밀도의 전압측정과 100aA정밀도의 전류측정이 가능. 4200-SMU에 장착되어 사용 ④ Dual Channel Pulse Card(4205-PG2(4ea)) : 펄스 파형 발생장치. 구형파나 임의 모양의 파형을 발생·공급 ⑤ High Resolution Scope(4200-SCP2HR(1ea)) : 오실로스코프 옵션으로, 파형을 캡처·분석 ㅇ 기능 및 용도 - 프로브 스테이션과 케이블로 연결되어 프로브 스테이션에 장착된 반도체 웨이퍼 또는 디바이스에 전류와 전압, 펄스를 공급 - 반도체 웨이퍼나 디바이스로부터 나온 응답 전기신호를 프로브 스테이션으로부터 전달받아 전류, 전압값을 측정 - 필요에 따라 측정된 전류, 전압값을 운영 프로그램내의 함수식에 대입하여 원하는 결과값을 계산하고 도출 결과를 그래프 등 시각적으로 표시 - 동작 전압측정, 동작 전류측정, 누설전류 측정, 브레이크 다운 전압측정, 전도도 및 저항측정, 디바이스 수명 예측, Hot Carrier Test 등 반도체 소자의 성능을 검사하기 위한 데이터 추출을 위해 사용 - 화주는 TFT LCD 제조공정에서 완성된 TFT의 성능검사시 사용. Glass Dummy부에 Glass내 Cell과 동일한 특성을 지닌 테스트용 트랜지스터를 형성하고 이를 측정해 봄으로써, Glass전체 트랜지스터의 특성을 모니터링 함 - 도출된 결과값을 통해 반도체 성능이 어떠한지 분석하거나 양·불량을 판단하는 기능은 없으며, PC내에 테스트 결과 저장은 가능 ※제조사 국내사무소 제출자료상 Application ㅇ Semiconductor Devices - On-wafer parametric test, Wafer level reliability, Packaged device characterization, High κ gate charge trapping, Isothermal testing of devices and materials subject to self-heating effects, Charge pumping to characterize interface state densities in MOSFET devices, Resistive or capacitive MEMS drive characterization ㅇ Optoelectronic Devices - Semiconductor laser diode DC/CW characterization, DC/CW character -ization of transceiver modules, PIN and APD characterization ㅇ Technology Development - Carbon nanotube characterization, Materials research, Electro- chemistry ㅇ 측정순서 ① 측정 대상물(TFT가 형성된 Glass)을 프로브 스테이션에 장착 → ② 프로브 핀을 측정 Point(측정하고자 하는 항목에 따라 Gate, Drain, Source 등)에 Contact → ③ PC에 내장된 어플리케이션 프로그램을 통해 조건 입력 및 각 터미널 세팅 → ④ 입력된 조건에 따라 전압, 전류 또는 Pulse를 공급하여 테스트 진행 → ⑤ 수치상 또는 그래프 상으로 분석결과 도출 |
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| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제9030호의 용어는『오실로스코프…기타 전기적 양의 측정 또는 검사용의 기기…』를 규정하고 있고, 9030.3- 호는 『전압·전류·저항 또는 전력의 측정 또는 검사용의 기기』를 규정하고 있음
ㅇ 본 건 물품은 동작전압, 동작전류, 누설전류, 브레이크다운 전압, 전도도 및 저항, 디바이스 수명 예측, Hot Carrier Test 등 TFT 성능의 정상여부 판단을 위한 데이터 값을 얻기 위하여 - 전압·전류 및 펄스를 프르브시스템을 통해 공급하고, 리턴되는 값을 측정하여 수치상 또는 그래프 제공 및 오실로스코프 기능을 이용해 펄스 파형을 분석하고 그 결과들을 기록할 수 있는 물품인 바, - TFT의 성능검사를 위한 측정대상이‘전압과 전류’이므로 전압·전류·저항 및 전력을 측정, 검사하는 기기가 분류되는 9030.3- 호 에 해당하고 , 또 자체적으로 기록장치를 내장하고 있으므로『전압·전류·저항 또는 전력의 측정 또는 검사용의 기기 중 기타의 기기(기록장치를 갖춘 것)』로서 관세율표해석에관한통칙 1호 및 6호에 따라 HSK9030.39-9000에 분류함 |
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