| 참조번호 | 품목분류2과-489 |
|---|---|
| 시행일자 | 2010-10-13 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.10-9000 (06회 품목분류협의회 결정) |
| 품명 | Post Polishing Cleaner(MODEL: PPIC#1K) |
| 물품설명 |
ㅇ 용도 : 반도체 웨이퍼를 제조하는 과정에서 웨이퍼를 최종 연마 후 여러 가지 화학용액(DI-Water, 과산화수소, 암모니아, 불산, 염산 등)을 이용하여 Wafer의 표면에 붙어있는 표면의 초미세입자, 유기물, 무기물 및 금속이온 오염물질 등을 세척하는 장비임
ㅇ 구 성 - Process Booth · Bath : O/F 1개(Two Lot Position), O3 2개, QDR 5개, DHF 1개, SC-1 4개, SC-2 1개, F/R 1개, Lift Dry 2개가 있음 · Transfer Robot : 8개가 있으며, 웨이퍼를 Bath to Bath로 이송 · 각 Bath는 Circulation Pump, Pulse Dumper, Circulation Filter, Chemical Analyzer(농도 control)가 있음 · 각 SC-1과 SC-2 Bath는 온도를 컨트롤하기 위한 Inline- heater와 Thermometer가 있음 · QDR Bath는 Chemical Process가 끝난 후의 웨이퍼에 남아 있는 Chemicals를 세척하기 위한 Shower and over-flow 기능이 있음 - Pitch Converter : 세척과 건조가 끝난 웨이퍼를 FOUP에 담기전에 대기 - Unloader : Pitch Converter에 있는 웨이퍼를 POUP에 담음 - 기타 장비 : Electric Power Box 2sets, Pure water heating unit 1set, Cooling unit 2sets, Ozone generator 1set, M/S Rack 1set, Wet-cart 1sets, Cart aligner 1sets, Cart cleaner 1set ㅇ 기능 : 연마가 끝난 웨이퍼를 CMP robot가 Wet-cart에 담으면(최대 50장) Loading부까지 인력으로 이송하여 Wet- Cart를 Loading Position에 넣으면 Robot가 웨이퍼를 들어 첫 번째 세척 Bath에 투입하여 세척한 후 다음 Bath로 이동시키며 도합 8종의 Bath에 순차적으로 투입하여 세척한 후 최종 Bath에 담근 후 자연건조하면 세척작업이 완료됨 - Loading/unloading : 웨이퍼 캐리어에 부착된 RFID를 이용 웨이퍼 ID를 인식한 후 WAFER를 LOADING/UNLOADING한다. - 세척공정 : DI Water(유.무기물제거)-> 오존수처리(2차유기물 제거)-> HF+DI Water(Oxide 제거)-> 암모니아+과수+DI Water Etching 4Bach (Wafer표면에 화학약품처리로 파티클제거)-> 염산+Di Water세척(중금속제거)-> Drying(Hot DI Water에 담근후 드레인)-> 자연건조 - 제어방식 : 전기 판넬에 Programming Logic Control (PLC 프로그램)을 설치하여 사용하며 각 Bath Robot가 기능을 제어한다. |
| 결정사유 |
ㅇ 본 물품은 반도체 웨이퍼 제조공정에서 연마가 끝난 웨이퍼를 50매씩 오존, 암모니아수 등 8종의 화학용액이 담긴 17개의 Bath에 순차적으로 투입하여 웨이퍼 표면의 초미세입자, 유기물, 무기물 및 금속이온 오염물질 등을 세척하는 장비임
ㅇ 관세율표 제8486호에는 "반도체 보울 또는 웨이퍼ㆍ반도체디바이스ㆍ전자집적회로 또는 평판디스플레이의 제조에 전용 또는 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류 주제9호 다목에서 특정한 기계와 기기 및 부분품과 부속품"을 분류하도록 규정하고 있으며, 관세율표 8486.10호에는 "보울 또는 웨이퍼 제조용 기계와 기기"가 분류됨 ㅇ 따라서 본 물품은 반도체 웨이퍼 제조에 있어 웨이퍼를 세척하는 장비이므로 관세율표 제8486.10호에 분류되며 ㅇ HSK의 분류체계를 보면 8486.10-40호에는 "각종 재료의 가공공작기계(레이저 또는 기타 광선·광자빔·전기화학·전자빔·이온빔·플라즈마아크 방식에 의하여 재료의 일부를 제거하여 가공하는 것에 한한다)"가 분류되는데, - 전기화학적 방법에 대해 관세율표해설서 제8456호 (D)에 "이러한 형태의 기계가공원리는 전기분해에 의하여 금속이 이동되는 현상이다. 가공물(양극)에 전류를 흐르게 하고 똑같이 공구(음극)에도 전류를 흐르게 한다. 이 양극을 음극성 침전이 불가능한 전해물속에 잠기도록 하면 이로 인하여 양극분해의 현상이 일어난다."라고 해설하고 있음 ㅇ 따라서 본 물품은 세척방식이 제8486.10-40호에서 규정하고 있는 각종 재료의 가공공작기계에 해당하지 않으므로 관세율표 해석에 관한 통칙 1(8486호의 용어) 및 6에 따라 제8486.10-9000호에 분류한다. |
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