| 참조번호 | 품목분류2과-211 |
|---|---|
| 시행일자 | 2010-05-24 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8424.89-1000 (03회 품목분류협의회 결정) |
| 품명 |
Fully Automatic Semiconductor Container Cleaning System
(FOUP Cleaning System), 모델 : CFC-330 |
| 물품설명 |
□ 물품 개요
ㅇ DI Water를 분사하여 반도체 디바이스나 전자집적회로를 제조하는 공장에서, 300mm 웨이퍼 이송장치의 부분품인 FOUP을 세척하는 기계임 □ 상세 설명 ㅇ 구조 및 형태 ① Loader 부 : 빈 FOUP을 Cleaning 하기 위해 올려 놓은 부분 ② Buffer 부 : FOUP을 Cleaning 하기 위해 대기하는 부분 ③ Robot 부 : FOUP을 Opener부와 Chamber부로 옮기는 부분 ④ Opener 부 : Shell(Foup의 몸체)과 Door를 분리하는 부분 ⑤ Chamber 부 Shell과 Door를 Cleaning & Dry하는 부분 ⑥ Unload 부 : Cleaning 종료된 Foup이 나오는 부분 ㅇ 작업순서 ① Loader 부에 FOUP 투입 ② Robot가 투입된 FOUP을 Loader와 Buffer부에서 Opener로 이송 ③ Opener부에서 이송된 FOUP을 Shell(FOUP 몸체)과 Door로 분리 ④ Robot가 분리된 FOUP(Shell과 Door)을 Chamber로 이송 ⑤ Chamber부는 FOUP을 Chamber속에 넣은 후 뚜껑을 닫아 밀폐한 후 Chamber 내부 하단과 상단(Chamber뚜껑)에 설치된 노즐을 통해 DI Water를 분사하여 Cleaning하고 고온의 질소가스로 Dry 실시 ⑥ Robot가 Cleaning & Dry 완료된 FOUP을 Opener로 이송 ⑦ Opener에서 Shell과 Door 결합 ⑧ Robot가 Opener의 FOUP을 Unloader부로 이송 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 16부 주3에 "2가지 이상의 기계가 함께 결합되어 하나의 완전한 기계를 구성하는 복합기계는 주된 기능을 수행하는 기계로 분류한다."고 규정하고 있고
ㅇ 관세율표 제8424호에는 "액체 또는 분말의 분사·살포 또는 분무용의 기기(수동식의 것인지의 여부를 불문한다),소화기(소화제를 충전한 것인지의 여부를 불문한다), 스프레이건과 이와 유사한 기기 및 증기 또는 모래취부기와 이와 유사한 제트분사기"가 분류됨 ㅇ 본 물품은 ①Loader부, ②Buffer부, ③Robot부, ④Opener부, ⑤Chamber부, ⑥Unload부 구성된 물품으로, 반도체 디바이스 제조에서 사용되는 300밀리미터 웨이퍼 이송장치의 부분품인 FOUP을 DI Water를 분사하여 세척하는 기능이 주기능인 기계임 - 제8424호 해설서에서 제외하도록 설명하고 있는 "반도체 웨이퍼 및 평판 디스플레이 식각, 현상, 스트리핑 또는 세척용의 분사기. 전기도금 공정 전에 반도체 패키지의 금속 리드에서 오염물질을 세척하고 제거하는 기기"에도 해당하지 않으며 - 제8424호 해설서에서 "…기타의 용기를 세정하는 기계"는 제외하도록 하고 있으나, FOUP은 300밀리미터 웨이퍼를 보관·이송하는 이송장치의 부분품이므로 기타의 용기에 해당하지 않음 - 또한 본 물품은 반도체 웨이퍼를 직접적으로 가공하거나 처리하지는 않지만 반도체 웨이퍼를 보관·이송하는 이송장치의 부분품인 FOUP을 세척하는 기계이고, FOUP 세척에 전용되도록 구성되어 있음 ㅇ 따라서 관세율표 해석에 관한 통칙 1(16부 주3 및 제8424호의 용어) 및 통칙 6에 따라 액체 또는 분말의 분사·살포 또는 분무용의 기기 중 기타 반도체 제조용의 것(제8424.89-1000호)으로 분류한다. |
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