| 참조번호 | 품목분류과-108149 |
|---|---|
| 시행일자 | 2007-07-09 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9027.80-1000 |
| 품명 | High resolution RBS System ; HRBS-V500 |
| 물품설명 |
ㅇ 물품형태
- 2(길이) * 1.5(폭) * 2.41(높이)m 크기, 1.9톤 형태의 물품 ㅇ 주요 구성 요소 - ① End station : 실제 측정이 이루어지는 챔버 - ② 진공 시스템과 진공도 측정 장치 : 측정 환경 설정을 위해 진공유 지 및 진공도 측정을 위해 사용 - ③ beam line equipment : 이온빔 생성 및 제어 - ④ 이온빔 가속 시스템 - ⑤ 제어장치 : 구동 전원공급, 측정결과 분석ㆍ표시, 기기제어용 ㅇ 기능 및 작동원리 - 가속한 3 종류의 이온빔(헬륨ㆍ질소ㆍ수소이온 : He+, N+, H+)을 시료 에 충돌시켜 - ①반사되는 이온빔을 분석하여 시료의 구조와 성분을 분석하고(ERDA), - ②후방 산란되는 이온 에너지를 측정하여 시료에 깊이에 따른 원소 조 성분포를 측정하며(RBS) - ③이온빔이 시료와 충돌될 때 발생하는 X선을 분석하여 재료의 성분을 분석(PIXE)하는 기능이 있음 ㅇ 용도 - ‘분광계’와 ‘분산 이온 분석용 검출기’를 이용하여, 박막의 표면 을 분석하는데 사용 - 사전심사 신청인은 반도체 제조공정 등에서 웨이퍼 위에 형성된 박막 원소의 정량분석, 두께측정, 결정성 측정, 구조분석용으로 사용 예정 이라 함 ㅇ 물품의 주요 특성 - 시료크기 : 10*10mm ～ 25*25mm - 충돌시 이온빔 에너지 : 300eV ～ 500eV - 이온빔의 크기 : 1×1mm |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제9027호는 ‘물리분석 또는 화학분석용의 기기’를 분류하
고, - 동해설서는 ‘재료의 질량 분석기’ 등을 예시함 ㅇ 본건물품은 높은 에너지를 갖는 이온빔을 시료에 조사하고, 이에 따 라 시료표면에서 반사되는 이온빔, 산란되는 이온 에너지 및 X-선을 분광계 (spectrometer)와 디텍터로 검출하여 - 이온빔의 강도에 따라 획득되는 성분별 이온의 개수를 표시하고 - 박막의 두께별로 조성 성분의 구성비를 측정하여 결과를 표시하는 것 으로 - 이는 성분 또는 함량을 측정하는 물리 또는 화학분석용 기기에 해당 하므로 ㅇ 관세율표 제9027호 용어의 규정에 의거, ‘기타 물리 또는 화학분석 용 기기’(HSK 9027.80-1000)로 분류 |
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