| 참조번호 | 품목분류과-106748 |
|---|---|
| 시행일자 | 2006-03-17 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 6909.19-0000 |
| 품명 | SIC DUMMY WAFER;12 INCH BLACK 300MM(원산지:일본) |
| 물품설명 |
ㅇ 성분 및 성상
- 고순도의 Si와 C가 결합된 12인치 원형의 웨이퍼 형태 ㅇ 용도 - 반도체 제조공정 중 LP-CVD(D-poly Si, SiN) 및 산화, 확산공정 등에 서 사용하며, 확산공정시 양산용 웨이퍼 25매를 담은 BOAT의 양 가장자리 에 2매씩 탑재하여 확산용 가스가 주입될 때, 양산용 웨이퍼에 직접 투입 되지 않도록 하고, 간혹 25매의 양산용 웨이퍼가 탑재될 수 있는 BOAT에 양산용 웨이퍼가 모두 채워지지 않을 경우 이를 대체하여 대신 채워주는 용도로 활용 ㅇ 제조공정 - 원형 기판제작(고순도흑연)→SiC Coating(1500℃,SiCl4＋CH4⇒SiC＋ 4HCL)→옆면가공→열처리(1200℃)→흑연제거→세정,연마,마킹,중간검사,산 화→strip&clean |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제69류 주1은 이 류는 성형한 후에 불에 구워서 만든 도자제
품에 한하여 적용한다고 규정하고 있고, 제6909호 용어는 기타 공업용의 도자제품을 규정 - 관세율표해설서 제69류 총설(A)의 도자제품 제조방법은 페이스트 조제 →성형→건조→소성(800℃이상)→완성의 공정순서를 예시하고 있고, - 관세율표해설서 제69류 제1절 총설(B) 내화제품은 그들이 쓰이는 특수 용도에 따라서 타물질과 접촉되어 있을때 부식되지 아니한다든가, 사용할 때 기계적 강도와 내마모성이 있다든가 하는 등의 성질이 필요한 경우가 있다. 그러나 제6902호 또는 제6903호의 내화제품은 고온에 견딜뿐만 아니 라 고온도 작업용으로 제작된 것이어야 한다고 규정 - 제6909호는 단열재료로 제조되었다 할지라도 고온작업용의 목적으로 설 계되어 있지 아니한 것은 이 호에 분류된다고 규정 ㅇ 본 물품은 흑연기판에 CVD(1500℃, SiCl4＋CH4→SiC＋4HCl)공정인 가 스 화학반응 공정을 통해 고순도 SiC 판상 물품을 만든 다음, 강도향상 및 비틀어짐 제거를 위해 1200℃로 열처리하고, 흑연제거 등 후공정을 통 해 웨이퍼상으로 만든 물품으로서, - 관세율표 제69류 주1 및 동해설서 제69류 총설 규정의 가공방법과 유사 한 방법으로 CVD공정에서 판상형태로 성형한 후, 1200℃에서 열처리 한 물 품임으로, 성형한 후 소성공정을 거친 도자제 물품으로 보아야 하고, - 비록 본건 물품은 고온(1,000℃정도)의 확산공정에서 사용되기는 하 나, 사용목적이 확산공정시 발생하는 불순물의 침적방지, 고내산화성, 고 내식성 등 SiC 도자제품의 물성을 이용하기 위한 물품으로, 고온작업용의 내화제품이 아닌 일반 도자제품으로 보아야 함 ㅇ 제69류 주1, 제6909호 용어에 의거 공업용 도자제품중 기타(6909.19 -0000)에 분류 |
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