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협의회결정사항 상세결과

상세결과 항목 : 참조번호, 시행일자, 시행기관, 결정세번, 품명, 물품설명, 결정사유, 이미지건수, 관련 이미지

참조번호 품목분류과-106748
시행일자 2006-03-17
시행기관 관세평가분류원
결정세번 9032.20-0000
품명 Automatic Control Valve ; Control Pendulum Valve DN250
물품설명 ㅇ 구성형태
Controller(Control Unit + Motor Driver) + Valve
ㅇ 구성요소별 기능
ⓛ Controller
- CPU가 장착된 보드와 Motor Driver로 구성
- 중앙제어장치에서 설정된 압력값과 sensor로부터 검출된 chamber
내의 압력값을 비교하여 밸브를 on-off함으로써 chamber내의 압력을 조절
② Valve : Controller의 Motor Driver의 작동에 의해 가스를 배출

ㅇ 기능 및 용도
LCD 제조장비인 건식식각기(DRY ETCHER)의 고진공 Process Chamber의
배기라인 쪽에 장착되어 가스의 배출을 통한 Chamber내의 가스의 압력을
조절(Controller가 밸브의 작동을 제어)

※ DRY ETCHER : LCD 기판상에 미세패턴형성을 위하여 고진공 Process
Chamber내에서 플라즈마를 이용하여 Glass위의 증착막을 선택적으로 제거하
는 장비

ㅇ 작동방식
① LCD제조 전 공정을 제어하는 시스템인 DCS(분산제어시스템)에 압력값
을 설정
② Controller가 Chamber내의 압력을 감지하여 설정된 기준값과 비교(통
신 : RS232, DeviceNet)
③ controller에서 자동으로 밸브를 개폐함으로써 Chamber내 가스의 압
력을 조절

※ DCS(Distributed control system) : 하나의 중앙처리장치를 여러 개
의 작은 중앙처리장치로 나누어 기능별로 분리하고 작은 용량의 중앙처리장
치를 갖는 각각의 컴퓨터를 통신네트워크로 연결시켜 전체시스템을 구성하
는 제어시스템
결정사유 ㅇ 관세율표 제8481호는 파이프·보일러의 동체·탱크·통 또는 이와 유사
한 물품에 사용하는 탭·콕크·밸브와 이와 유사한 장치(감압밸브 및 온도
제어식의 밸브를 포함한다)가 분류되며

ㅇ 동 해설서 제8481호에 “전·밸브 등과 더어머스타트·매노우스타트
(manostat)·기타의 제9026호 또는 제9032호에 게기된 측정용·검정용 또
는 자동조정용의 기기가 함께 조합된 것은 그 기기가 전·밸브 등에 직접
부착되어 있거나 또는 직접 부착하도록 설계되어 있으며 , 또한 그 조합한
장치가 이호에 게기된 물품의 중요한 특성을 갖추고 있는 경우에는 이 호
에 분류된다. 이 조건을 충족하지 못하는 경우, 이러한 물품은 제9026호
(例 : 배출콕크를 갖춘 액체형압력계) 또는 제9032호에 분류된다. 원격제어
장치의 경우에는 전·밸브 등만이 이 호에 분류된다” 라고 해설하고 있음.

ㅇ 본 물품은 밸브에 컨트롤러가 부착된 형태로서 컨트롤러가 밸브의 개폐
를 직접 제어하여 chamber내의 압력을 조절하므로 밸브에 중요한 특성을 갖
추고 있는 물품임

ㅇ 따라서 본 물품은 기타의 밸브로 보아 8481.80-1030에 분류<통칙1 및
6>
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