| 참조번호 | 품목분류과-106006 |
|---|---|
| 시행일자 | 2005-11-18 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9012.10-1090 |
| 품명 | Dual Beam FIB/SEM ; NOVA200 ; USA |
| 물품설명 | ㅇ 물품형태 : Main FIB본체에 SEM column이 결합된 형태@§@§ㅇ 구성요소 및 구성요소별 기능@§ @§ ① FIB(Focused Ion Beam) : @§ - Imaging : Ion Beam을 웨이퍼 또는 소자의 회로부분에 약하게 조사하@§면 2차 전자 이온이 발생하는 데 이를 detecor로 검출하여 image를 컴퓨@§터 모니터로 관찰@§ - cutting, milling, depositing : Ion Beam을 웨이퍼 또는 소자의 수@§정하고자하는 회로부분에 강하게 조사하면 이온빔이 회로표면에 충돌하여 @§그 표면을 뜯어내거나, 다른 물질을 넣어 끊어진 회로를 붙일 수 있음@§ ② SEM(Scanning Electron Microscope) Column @§ - FIB 단독으로도 Imaging화 및 가공이 가능하나 FIB에 SEM Column을 @§부착@§ - 전자빔을 웨이퍼의 회로부분에 조사하여 2차 전자 이온이 발생하는 @§데 이를 detecor로 검출하여 image를 컴퓨터 모니터로 관찰@§ - 이온빔 보다 해상도가 뛰어남@§@§ ㅇ 기능 및 용도@§ 반도체 웨이퍼 및 소자상에 있는 회로를 이온빔을 조사하여 현미경으@§로 형상화하여 모니터로 관찰하면서 불량부분에 대하여 milling(깎기), @§cutting(자르기), deposition(붙임) 등의 작업을 통하여 수정하는 FIB의 기@§본기능에, SEM Column을 부착하여 높은 해상도로 회로를 관찰할 수 있는 기@§능이 추가됨 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제8456호는 각종 재료의 가공공작기계(레이저 또는 기타광선· 광자빔·초음파·방전·전기화학·전자빔·이온빔·플라스마아크방식에 의 하여 재료의 일부를 제거하여 가공하는 것에 한한다)가 분류되며, 제9012호 는 전자빔을 사용하는 전자현미경이 분류됨 ㅇ 쟁점물품은 반도체 웨이퍼 또는 소자상에 있는 회로를 현미경으로 형상 화하여 모니터로 관찰하면서 불량부분에 대하여 milling(깎기), cutting(자 르기), deposition(붙임) 등의 작업을 통하여 수정하는 FIB(Focused Ion Beam)의 기능과 전자빔을 웨이퍼의 회로부분에 조사하여 2차 전자 이온이 발생하는 데 이를 detecor로 검출하여 image를 높은 해상도로 회로부분을 관찰할 수 있는 SEM기능을 함께 수행 할 수 있도록 고안된 장비임 ㅇ 따라서 쟁점물품은 HS8456호에 분류되는 FIB(Focused Ion Beam)의 기 능과 HS9012호에 분류되는 SEM기능을 함께 수행 할 수 있도록 고안된 장비 로서 FIB기능과 SEM기능 중 어느 하나에 본질적인 특성이 있다고 보기 어려 우므로 통칙 3(C)의 규정에 의거 HS9012호에 분류하되, 반도체 웨이퍼 또 는 레티클의 취급과 이송용으로 특별히 고안된 장치가 부착되어 있지 않으 므로 HSK9012.10-1090호에 분류함 |
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