| 참조번호 | 품목분류과-100682 |
|---|---|
| 시행일자 | 2004-07-02 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9012.90-1000 |
| 품명 | Electron source; TFE gun; For eS25 |
| 물품설명 | o 기능 및 용도@§- SEM(Scanning Electron Microscopy)을 이용하여 반도체 웨이퍼 결함을 @§측정하는 장비에서 전자빔을 발생해주는 Electron Source임.@§ →측정장비 구성: ①Electron source, ②Electron column, ③Main @§Vacuum chamber ④Image computer ⑤Loader@§@§o 구성요소@§전자총+이온펌프2개+Iso valve+condenser |
| 결정사유 |
○ 본건 물품은 반도체 웨이퍼 측정장비의 구성물품인 ①Electron source, ②Electron column, ③Main Vacuum chamber ④Image computer ⑤ Loader중 전자빔을 발생하는 Electron source [전자총+이온펌프 2개+Iso valve+condenser 등으로 구성]임 ○ HS 90류 물품의 부분품과 부속품에 관한 분류규정인 90류 주2를 보 면 순서대로 ①부분품과 부속품이 90,84,85,91류 중 어느 호에 속하는 물 품인 경우 당해 호에 우선 분류하고, ② 특게호가 없는 물품인 경우에는 전용 또는 주로 사용되는 물품과 함께 분류하며, ③기타의 부분품과 부속 품은 9033호에 분류하도록 규정하고 있음. ○ 우선 본건 물품이 90류 주2 “a" 규정에 의거 HS 84, 85류의 물품 인지 여부를 살펴보면 - 본건 물품의 핵심기능은 전자를 방출하는 전자총 기능이지만, 웨 이퍼 측정기에 전용되도록 전자총이외에 2개의 진공펌프, Iso valve, condenser 등을 장착함으로서 다른 용도의 기기에는 사용할 수 없다는 점 및 단순한 전자총의 범위를 벗어나고 있다는 점에서 HS 8540호로 분류하 기 곤란하고 - 본건 물품은 웨이퍼 측정기에 전용되는 물품으로서 측정을 위해 서는 전자빔을 웨이퍼에 투사하여 웨이퍼에서 발생하는 2차 전자를 이용하 여야 함으로 SEM을 이용하는 웨이퍼 측정기에서 전자빔을 발생하는 Electron source는 필수적인 물품이기 때문에 HS 8543호에도 분류할 수 없 음. ○ 따라서, 90류 주2 “b"의 규정에 의거 본건 물품은 SEM을 이용하 는 반도체 웨이퍼 측정기에 전용 또는 주로 사용되는 물품으로서 동 측정 기에 있어 필수적인 기능을 수행하는 물품이므로 SEM장비의 부분품이 분류 되는 HSK 9012.90-1000호에 분류한다. |
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