| 참조번호 | 품목분류과-100682 |
|---|---|
| 시행일자 | 2004-07-02 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9017.90-1010 |
| 품명 | TFE gun & Lab6 gun; Electron source; For Pattern generator(MEBES) |
| 물품설명 | o 기능 및 용도@§-반도체 제조용 장비중 마스크상에 패턴을 형성해주는 패턴형성기에서 전@§자빔을 발생해주는 Electron Source임.@§ →패턴형성기 구성: ①Electron source, ②Electron column, ③@§Mechanical stage(기계적으로 스테이지를 이동), ④제어반@§@§o 구성요소: 전자총+이온펌프2개+Octupole stigmator+Iso valve+@§(Pyrometer) |
| 결정사유 |
○ 본건 물품은 반도체 제조용 장비중 마스크상에 패턴을 형성해주는 패턴형성기의 구성물품인 ①Electron source, ②Electron column, ③ Mechanical stage(기계적으로 스테이지를 이동), ④제어반중에서 전자빔 을 발생해주는 Electron source[전자총+이온펌프 2개+ Octupole stigmator + Iso valve+(Pyrometer)로 구성]임. ○ HS 90류 물품의 부분품과 부속품에 관한 분류규정인 90류 주2를 보 면 순서대로 ①부분품과 부속품이 90,84,85,91류 중 어느 호에 속하는 물 품인 경우 당해 호에 우선 분류하고, ② 특게호가 없는 물품인 경우에는 전용 또는 주로 사용되는 물품과 함께 분류하며, ③기타의 부분품과 부속 품은 9033호에 분류하도록 규정하고 있음. ○ 우선 본건 물품이 90류 주2 “a" 규정에 의거 HS 84, 85류의 물품 인지 여부를 살펴보면 - 본건 물품의 핵심기능은 전자를 방출하는 전자총 기능이지만, 패 턴형성기에 전용되도록 전자총이외에 2개의 진공펌프, Octupole stigmator, Iso valve, (Pyrometer) 등을 장착하여 다른 용도의 기기에는 사용할 수 없다는 점 및 단순한 전자총의 범위를 벗어나는 물품이란 점에 서 HS 8540호로 분류하기 곤란하고 - 본건 물품은 패턴형성기에 전용되는 물품으로서 마스크상에 패턴 을 형성하기 위해서는 전자빔을 발생하는 Electron source가 필수적인 물 품이므로 HS 8543호에도 분류할 수 없음. ○ 따라서, 90류 주2 “b"의 규정에 의거 본건 물품은 패턴형성기에 전용 또는 주로 사용되는 물품으로서 패턴형성기의 본질적인 기능인 마스 크상에 패턴을 형성하는 데 있어 필수적인 기능을 수행하는 물품이므로 패 턴형성기의 부분품이 분류되는 HSK 9017.90-1010호에 분류한다. |
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