| 참조번호 | 품목분류과-100680 |
|---|---|
| 시행일자 | 2004-07-02 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9017.90-1010 |
| 품명 | TFE Column; For MEBES |
| 물품설명 | o 기능 및 용도@§-반도체 제조용 장비중 마스크상에 패턴을 형성해주는 패턴형성기에서 전@§자빔을 발생해주는 Electron Source와 마스크 사이에 위치함@§ →패턴형성기 구성: ①Electron source, ②Electron column, ③@§Mechanical stage(기계적으로 스테이지를 이동), ④제어반@§-마스크위에 정확한 패턴을 형성할 수 있도록 빔을 확대하거나 축소시키@§는 빔 조절 기능을 수행함.@§@§o 구성@§①Column ISO 밸브: 고진공 유지 및 전자빔 차단@§ ②Limiting Aperture: 빔이 통과되는 홀@§ ③Liner Tube: 빔이 통과되는 원통관@§ ④Blanking Aperture, ⑤VG-MIN Plate : 빔을 blank/unblank시켜줌@§ ⑥Lens Coil: 빔사이즈와 포커스등을 조절, 빔방향을 조절@§ ⑦30L Ion Pump: 진공 펌프로서 Iso 펌프, Upper 칼럼 펌프, Lower펌프@§가 있음@§ ⑧Other |
| 결정사유 |
○ 본건 물품은 반도체 제조용 장비중 마스크상에 패턴을 형성해주는 패턴형성기의 구성물품인 ①Electron source, ②Electron column, ③ Mechanical stage(기계적으로 스테이지를 이동), ④제어반중에서 Electron Source와 스테이지(마스크가 놓이는 곳) 사이에 위치하여 마스크 위에 정확한 패턴을 형성할 수 있도록 Electron Source에서 투사된 빔을 확대하거나 축소시키는 기능을 수행하는 Electron Column임. ○ HS 90류의 물품의 부분품과 부속품에 관한 분류규정인 90류 주2를 보면 순서대로 ①부분품과 부속품이 90,84,85,91류 중 어느 호에 속하는 물품인 경우 당해 호에 우선 분류하고, ② 특게호가 없는 물품인 경우에 는 전용 또는 주로 사용되는 물품과 함께 분류하며, ③기타의 부분품과 부 속품은 9033호에 분류하도록 규정하고 있음. ○ 우선 본건 물품이 90류 주2 “a" 규정에 의거 HS 84, 85류의 물품 인지 여부를 살펴보면 - 본건 물품은 패턴형성기에 전용되는 물품으로서 Electron Source 에서 투사된 전자빔을 확대하거나 축소시킴으로서 마스크상에 정확한 패턴 을 형성할 수 있도록 해주는 패턴형성기의 조작에 필수 불가결한 물품이므 로 HS 8543호에 분류할 수 없음. ○ 따라서, 90류 주2 “b"의 규정에 의거 본건 물품은 패턴형성기에 전용 또는 주로 사용되는 물품으로서 패턴형성기의 본질적인 기능인 마스 크상에 패턴을 형성하는 데 있어 필수적인 기능을 수행하는 물품이므로 패 턴형성기의 부분품이 분류되는 HSK 9017.90-1010호에 분류한다. |
| 이미지건수 | 0 |
| 관련 이미지 |