| 참조번호 | 품목분류과-100679 |
|---|---|
| 시행일자 | 2004-07-02 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9017.90-1010 |
| 품명 | Chuck Assy(거래품명 : Laser Part) |
| 물품설명 | ᄋ 기능 및 용도@§@§ - 패턴형성기의 Stage위에 얹어져 있는 Mask Plate가 움직이지 않도록 @§고정시키는 역할을 함@§ ㅇ 재질 및 작동원리@§ - Chuck의 재질은 유리섬유성질의 합성수지이며, Chuck에는 3개의 @§hole이 있는데 이 hole을 통하여 Stage내에 설치된 진공펌프의 밸브가 @§Mask plate에 연결됨으로써 Mask plate를 진공흡착 함 |
| 결정사유 |
ㅇ 본 품은 반도체 제조장비인 패턴형성기의 부분품으로서 패턴형성기의 Stage위에 얹어져 있는 Mask Plate가 움직이지 않도록 하는 chuck으로서, Chuck에 있는 3개의 hole 통하여 Stage내에 설치된 진공펌프의 밸브가 Mask plate에 연결됨으로써 Mask plate를 진공흡착하여 Mask plate 고정시 키는 역할을 함 ㅇ 패턴형성기는 CAD시스템을 이용하여 반도체 설계자가 설계한 미세회 로 패턴을 유리기판 위에 그려 포토마스크를 제작할 때 사용하는 장비로서 HSK9017.20-4000에 특게되어 있으며, 그 부분품과 부속품은 HSK9017.90- 1010에 분류됨 ㅇ 관세율표 제90류 주2 가 “부분품과 부속품이 제84류·제85류·제90 류 또는 제91류 중의 어느 호에 속하는 물품인 경우에는 각각 해당 호에 분 류 ”하도록 하고 있으며, 제90류 주2 나 “특정한 기기 또는 동일한 호에 해당하는 여러종류의 기기에 전용 또는 주로 사용되는 것은 당해 기기와 함 께 분류한다”라고 규정하고 있음 ㅇ 본 품은 Mask가 유리이기 때문에 자성(magnetic properties)을 이용 할 수 없고 진공(vacuum)을 이용한 진공흡착방식의 호울딩 장치이므로 제 8505호에 분류할 수 없음 ㅇ 따라서 본 품은 패턴형성기에 전용되도록 제작된 부분품으로 보아 HSK9017.90-1010에 분류한다. |
| 이미지건수 | 0 |
| 관련 이미지 |