| 참조번호 | 품목분류과-100678 |
|---|---|
| 시행일자 | 2004-07-02 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9017.90-1010 |
| 품명 | Steering Mirror Assy(거래품명 : Laser Part) |
| 물품설명 | ᄋ 용 도@§@§ - 패턴형성기의 Mask를 받쳐주는 Stage의 위치변화에도 불구하고 레이저@§빔이 정확하게 목표하는 위치에 조사(照射)될 수 있도록 조절하는 기능을 @§수행하는 패턴형성기의 부분품으로서@§ - Stage의 위치변화를 측정하는 센서로부터 오는 신호를 증폭하여 압전@§소자를 통하게 되면서 렌즈가 부착된 원형의 패들(Paddle)이 움직이고 그@§에 따라 렌즈를 움직여 정확하게 레이저빔이 반사되도록 하는 역할을 함@§ @§ᄋ 구성요소 및 기능@§구성요소@§기 능@§DIT signal (센서) @§ Piezoelectric Actuator의 linear motion의 움직임을 측정하여 mirror @§board에 feedback시키는 거리를 측정하는 센서의 일종@§Paddle@§ Paddle에 고정된 mirror을 용이하게 움직이기 위한 지지대@§Mirror error signal@§(센서)@§ Beam movement가 대략 ±1.25um를 유지하도록 하 는 range@§Piezo Drive(증폭기)@§ 입력신호에 대한 Range 0에서 100volt의 증폭기로 Pizeoelectric을 대@§략 5um range로 구동하기 위한 장치@§Mirror(반사경)@§ laser beam이 원하는 각도 만큼 반사 되도록 코팅 된 mirror |
| 결정사유 |
ㅇ 본 품은 DIT signal (센서), Paddle, Mirror error signal(센서),Piezo Drive(증폭기), Mirror(반사경)로 구성되어 있으며 패턴형성기의 Mask를 받 쳐주는 Stage의 위치변화에도 불구하고 레이저빔이 정확하게 목표하는 위치 에 조사(照射)될 수 있도록 조절하는 기능을 수행하는 패턴형성기의 부분품 으로서 Stage의 위치변화를 측정하는 센서로부터 오는 신호를 증폭하여 압 전소자를 통하게 되면서 렌즈가 부착된 원형의 패들(Paddle)이 움직이고 그 에 따라 렌즈를 움직여 정확하게 레이저빔이 반사되도록 하는 역할을 함 ㅇ 패턴형성기는 CAD시스템을 이용하여 반도체 설계자가 설계한 미세회 로 패턴을 유리기판 위에 그려 포토마스크를 제작할 때 사용하는 장비로서 HSK9017.20-4000에 특게되어 있으며, 그 부분품과 부속품은 HSK9017.90- 1010에 분류됨 ㅇ 관세율표 제90류 주2 가 “부분품과 부속품이 제84류·제85류·제90 류 또는 제91류 중의 어느 호에 속하는 물품인 경우에는 각각 해당 호에 분 류 ”하도록 하고 있으며, 제90류 주2 나 “특정한 기기 또는 동일한 호에 해당하는 여러종류의 기기에 전용 또는 주로 사용되는 것은 당해 기기와 함 께 분류한다”라고 규정하고 있음 ㅇ 본 품은 DIT signal (센서), Paddle, Mirror error signal(센 서),Piezo Drive(증폭기), Mirror(반사경)을 하나로 모듈화 시킨 물품이므 로 단순한 광학용품(optical elements)인 반사경으로 보아 제9002호에 분류 할 수 없음 ㅇ 따라서 본 품은 구성요소 및 작동원리로 판단해 볼 때 단순한 광학용 품으로서의 mirror가 아니라 패턴형성기에 전용되도록 특별히 설계·제작 된 물품이므로 관세율표 90류 주2 나에 의거 패턴형성기의 부분품으로 보 아 HSK9017.90-1010호에 분류한다 |
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