| 참조번호 | 품목분류과-100678 |
|---|---|
| 시행일자 | 2004-07-02 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9017.90-1010 |
| 품명 | Optic Cleaning Kit(거래품명 : Laser Part) |
| 물품설명 | ᄋ 용 도@§ - 본 품은 패턴형성기에 장착되어 회로작업시 Laser 빔을 순수하게 정제@§(cleaning)하여 순도를 높여주는 기능을 수행하며 패턴형성기에 전용되도@§록 설계·제작 된 물품임@§ ㅇ 구성요소 및 기능@§ 가. Stigmator@§ - 미세회로를 유리기판에 원하는 모양으로 그리기 위하여는 레이져 빔@§의 형태가 원형에 가까워야 하는데 Leaser Head에서 생성된 레이저빔은 타@§원형의 형태를 취하고 있어 이를 원형의 레이져 빔으로 조정하는 역할을 함@§ - 내부에 위치한 총 4개의 렌즈(오목렌즈 2개와 볼록렌즈 2개)가 교차@§하면서 초점거리를 고정시킴 @§ 나. Brush Module @§ ① Multiple beam splitter@§ - 5개의 특수 코팅처리된 반사경으로서 전면과 후면이 모두 특수@§한 코팅이 되어있어 레이저빔이 통과면서 반사와 굴절을 반복하여 5개의 반@§사경을 거치는 동안 32개의 레이저빔으로 나누어 지게 함@§ ② AOM(Accousto-optic modulator)@§ - 32개의 레이저빔이 패턴을 형성하기에 적합하도록 선택적인 on-@§off기능과 세기를 조절하는 역할을 하는 것으로 Optic Cleaning Kit의 핵심@§기능 임@§ - 내부에 레이저 빔의 수만큼의 Crystal이 있어 이것이 외부에서 @§전달되는 음파에 의한 진동에 의하여 진동하게 되고 이에 따라 레이저빔의 @§굴절각이 달라지면서 레이저빔의 세기가 조절 됨@§ 다. Dove Prism@§ - Brush Module을 거쳐 조정된 32개의 레이저빔은 직진할수록 끝이 @§벌어지는 현상으로 인하여 각 레이저빔이 물리적으로 중첩되는 현상이 발생@§하게 되는데, 10.8" 각도가 조정된 프리즘(Dove Prism)에 통과시킴으로써 @§반사각을 회전시켜 레이저빔 간의 간섭현상을 제거하는 역할을 함@§ ※ Optic Cleaning Kit을 구성하는 물품의 기능비@§ Stigmator(5%) Multiple beam splitter(30%) Accousto-optic @§modulator(50%) Dove Prism(15%) |
| 결정사유 |
ㅇ 본품은 패턴형성기에 장착되어 반도체의 포토마스크의 회로작업시 Laser 빔을 순수하게 정제(cleaning)하기 위하여 사용되는 물품으로서, Stigmator(오목렌즈+볼록렌즈), Brush Module(반사경 +Modulator), Dove Prism으로 구성되어 있음 ㅇ 패턴형성기는 CAD시스템을 이용하여 반도체 설계자가 설계한 미세회 로 패턴을 유리기판 위에 그려 포토마스크를 제작할 때 사용하는 장비로서 HSK9017.20-4000에 특게되어 있으며, 그 부분품과 부속품은 HSK9017.90- 1010에 분류됨 ㅇ 관세율표 제90류 주2 가 “부분품과 부속품이 제84류·제85류·제90 류 또는 제91류 중의 어느 호에 속하는 물품인 경우에는 각각 해당 호에 분 류 ”하도록 하고 있으며, 제90류 주2 나 “특정한 기기 또는 동일한 호에 해당하는 여러종류의 기기에 전용 또는 주로 사용되는 것은 당해 기기와 함 께 분류한다”라고 규정하고 있음 ㅇ 본 품은 Stigmator(오목렌즈+볼록렌즈), Brush Module(반사경 +Accousto-optic Modulator), Dove Prism으로 구성되어 있으며, Accousto- optic modulator는 32개의 레이저빔이 패턴을 형성하기에 적합하도록 선택 적인 on-off기능과 세기를 조절하는 역할을 하는 Optic Cleaning Kit의 핵 심기능(전체기능 중 50%) 으로서 광학용품(optical elements)이 아님. ㅇ 본 품은 광학용품과 Accousto-optic modulator이 함께 구성되어 있 는 물품으로서 제9002호에 분류되는 단순한 광학용품(optical elements)으 로 볼 수 없으며 패턴형성기에 전용되도록 특별히 설계·제작된 물품임 ㅇ 따라서 본 품은 제90류 주2 나에서 규정한 부분품 분류원칙에 의거 패턴형성기의부분품이 분류되는 HSK9017.90-1010호에 분류한다 |
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