| 참조번호 | 품목분류1과-2378 |
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| 시행일자 | 2026-08-25 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9032.20-0000 |
| 연도 | 2026 |
| 회 | 05 |
| 품명 | Pressure Controller; 649B |
| 물품설명 |
ㅇ 물품 개요
- 반도체 제조공정에서 가스의 압력을 자동으로 제어하는 물품으로 진공 챔버 내에서 웨이퍼의 표면 온도를 냉각시키는 가스 공급라인 및 VTM*(Vacuum Transport Module) 가스 공급라인에 장착되어 가스의 압력을 일정하게 자동 조절하는 물품 * VTM : 진공환경을 유지한 상태에서 공정 대상(웨이퍼 등)을 이송하기 위한 장치 • 크기 : 38.1×169.2×140(㎜), 무게 : 1.59kg • Pressure Control Range : 2∼100% of F.S. • Flow Reading Range : 1∼100% of F.S ㅇ 주요 구성요소 ① 측정부 - 압력센서(Baratron) : 가해진 압력에 따라 변형된 다이어프램을 통해 정전 용량 변화를 측정하고 이를 통해 압력을 측정 - 유량 센서(Flow sensor) : 유량의 흐름에 따라 온도차를 기반으로 유량을 측정하는 Thermal type의 센서로 유량 모니터링 목적으로 사용 ② 자동제어부(Control Electronics) - 압력센서로부터 전달받은 측정값을 미리 설정된 값과 비교하여 압력조절에 필요한 명령을 전기 신호로 밸브에 보내는 역할 수행 ③ 가동부(Control valve) - 자동 제어부로부터 받은 명령에 따라 밸브를 열거나 닫음으로써 가스의 압력을 조절하는 피에조 전기식 밸브 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제90류 주 제7호에서 제9032호는 “가. 액체나 기체의 유량ㆍ깊이ㆍ압력이나 그 밖의 변량(變量)의 자동제어용 기기나 온도의 자동제어용 기기(자동제어하여야 할 요소에 따라 변화하는 전기적 현상으로 작동하는 것인지에 상관없으며 지속적으로나 주기적으로 이 요소의 실제 값을 측정하여 이 요소를 장해가 발생하여도 안정적으로 목표치에 맞추고 유지하도록 설계되어 있다)”와 “나. 전기적 양의 자동조절기 … ”인 물품에만 적용한다고 규정하고 있음
ㅇ 관세율표 제9032호에는 “자동조절용이나 자동제어용 기기”가 분류되고, 소호 제9032.20호에는 “매노우스타트(manostat)”가 세분류되며, - 같은 호 해설서 “(Ⅰ) 액체나 기체의 유량ㆍ깊이ㆍ압력이나 그 밖의 변량의 자동제어용 기기 …”에서, 액체나 기체용의 자동제어용 기기는 “완전한 자동제어용 기기의 일부를 형성하고 있으며 주로 다음의 장치로 구성한다. (A) 탱크의 압력이나 깊이, … 등의 조절해야 할 변량을 측정하는 기기 … (B) 희망치와 측정치를 비교하고 … (C)에 기재된 장치를 작동시키는 제어 장치. (C) 기동 장치․정지 장치ㆍ조작 장치(operating device)”라고 설명하고 있음 - 또한, 같은 호 해설서에서 “(A) 압력제어기(pressure controller)나 조정기(regulator) : 이것은 기체정류량장치(manostats)로도 불리며, 주로 압력감응기․지시된 압력과 조정해야 될 압력과를 비교(예: 조정 가능한 스프링에 의하여)하는 조절장치ㆍ제어회로를 조작시키는 전기접점이나 작은 밸브로 구성되어 있다. … .”라고 설명하고 있음 ㅇ 본건 물품은 ①관로를 통과하는 기체의 압력을 측정하는 압력센서와 유량센서, ②압력의 측정값을 설정값과 비교하여 설정값이 유지될 수 있도록 제어신호를 출력하는 제어부, ③압력을 조정하기 위한 피에조 전기식 밸브인 ‘조작장치’가 하우징 안에 일체형으로 결합된 것으로, - 제90류 주 제7호에서 규정한 구성요소를 모두 갖추고 있으므로 제9032호의 자동조절용이나 자동제어용 기기에 해당하며, - 본건 물품은 반도체 웨이퍼 냉각을 위한 가스 공급라인에서 가스의 압력을 자동 조정하기 위한 것으로, 유량센서는 유량 제어 목적이 아닌 이상 감지를 위해 유량을 모니터링하기 위한 것이고, 자동제어 대상은 압력이므로, 소호 제9032.20호의 매노우스타트(압력제어기)로 분류함이 타당함 ㅇ 따라서, 본건 물품은 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제9032.20-0000호에 분류함 |
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