| 참조번호 | 품목분류4과-632 |
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| 시행일자 | 2026-02-06 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2040 |
| 연도 | 2026 |
| 회 | 01 |
| 품명 | ASSY, SUSCEPTOR, FLAT POCKET, TRENCH, IC; 0010-68383 |
| 물품설명 |
ㅇ 흑연(Graphite) 기판에 탄화규소(Silicon Carbide, SiC)가 화학기상증착방식(CVD)으로 코팅하여 만든 서스셉터(Susceptor)*로 6개의 웨이퍼 포켓(pocket)이 있고 포켓에는 미세한 홀 가공이 되어 있으며, 보관용 케이스(case)와 함께 제시된 것(크기 : 지름 1,100 mm, 두께 30 mm) * 반도체 공정에서 에너지를 흡수하여 열로 변환하고 그 열을 대상물에 균일하게 전달하는 매개체 역할과 웨이퍼를 받쳐주는 지지대 ㅇ 기능 : ALD* Chamber 내에서 웨이퍼를 안착시킨 후 회전 및 수직이동하며 정확한 웨이퍼 온도제어, 전구체 가스 분사기 이동, 화학적 불활성 * Atomic Layer Deposition(원자층 증착)는 반도체 웨이퍼에 매우 얇고 균일한 막을 형성하여 반도체 소자의 성능을 향상시킴 ㅇ 제조공정 : 비정질 흑연(원재료) → Isostatic Pressing → Baking(1000℃, 탄소화) → Graphitizing(2500℃∼3000℃, 결정 구조 형성) → Inspection → Machining to Part Shape(CNC 커팅·그라인딩·폴리싱·드릴링 등) → Purification(불순물 제거) → CVD(흑연 표면에 Sic Coating) → Inspection막을 형성하는 공정으로, 매우 얇고 균일한 막을 형성하여, 반도체 소자의 성능을 향상시킴 |
| 결정사유 |
- 관세율표 제16부 주 제2호 나목에서 기계의 부분품은 “특정한 기계나 동일한 호로 분류되는 여러 종류의 기계(제8479호나 제8543호의 기계를 포함한다)에 전용되거나 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호(…)에 분류한다.”라고 규정하고 있음 - 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)ㆍ반도체 디바이스ㆍ전자집적회로ㆍ평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, … 그 부분품과 부속품”이 분류되고, 소호 제8486.90호에는 “부분품과 부속품”이 세분류되며, ·같은 호 해설서 “(B) 반도체디바이스나 전자집적회로 제조용 기계와 기기” 그룹에서 “막 형성 장비”로 “화학기상증착(CVD)장비”를 예시하고 있고, “(E) 부분품과 부속품” 그룹에서 “이 호에 분류하는 부분품과 부속품에는 특히, 이 호의 기계와 기기에 전용되거나 주로 사용하는 툴홀더(tool holder)와 그 밖의 특수 부착물 등을 포함한다.”라고 설명하고 있음 - 본건 물품은 반도체 디바이스 제조공정 중 웨이퍼에 박막을 형성하는ALD 챔버 내에 장착되어 웨이퍼를 고정 및 지지하기 위해 전용으로 사용되는 물품이므로 제8486호 반도체 제조용 기계의 부분품 또는 부속품에 해당함 - 참고로, 본건 물품은 흑연 기판 위에 탄화규소(SiC)를 생성시키는 화학기상증착방식(CVD)으로 제작된 것으로, 조형 및 성형하여 제조하는 제68류의 물품, 성형 및 소성하여 제조하는 제69류의 물품에는 해당하지 않으므로 제84류에서 제외되지 않음 - 따라서 본건 물품은 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제8486.90-2040호에 분류함 |
| 이미지건수 | 2 |
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