| 참조번호 | 품목분류4과-7792 |
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| 시행일자 | 2024-11-13 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2090 |
| 연도 | 2024 |
| 회 | 05 |
| 품명 | PIPE,SURFACE TREATMENT; EG5361-057-50C; JP; |
| 물품설명 |
ㅇ 물품개요
- 반도체 웨이퍼의 자연산화막을 제거하는 장비(RISE-300)* 부분품인 샤워헤드**의 구성품 * Plasma Arc 방식을 이용해 건식 Gas를 도입하여 웨이퍼 및 패턴 위에 생긴 자연 산화막(Native Oxide)을 제거하는 위한 장비 ** RISE-300의 Process Chamber에 장착되어 반응기체를 챔버내 웨이퍼에 균일하게 분포 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제16부 주 제2호 나목에서 “그 밖의 부분품으로서 특정한 기계나 동일한 호로 분류되는 여러 종류의 기계에 전용되거나 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호로 분류한다.”라고 규정하고 있음 ㅇ 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)ㆍ반도체디바이스ㆍ전자집적회로ㆍ평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, …, 그 부분품과 부속품”이 분류되고, - 소호 제8486.90호에는 “부분품과 부속품”, HSK 제8486.90-2040호에는 “식각용 기기의 것”, 제8486.90-2090호에는 “기타 기기의 것”을 각각 세분류하고 있음 ㅇ 본건 물품이 결합되는 장비는 플라즈마아크 방식으로 반도체 웨이퍼상의 불필요한 자연 산화막을 벗겨내는 제8486호의 반도체 제조용 기계로, - 본건 물품은 반응기체를 챔버 내부의 웨이퍼에 균일하게 분포하기 위해 특정형상으로 제작된 전용 또는 주로 사용되는 부분품에 해당하므로 제8486.90호의 “반도체 제조용 기계의 부분품”에 분류함 ㅇ 본건 물품이 결합되는 기계는 패턴 형성이 아닌 불순물(자연산화막)을 제거하는 기계로, 식각(Etching)에 대한 사전적 정의는 “금속의 부식되는 성질을 이용하여 이미지를 새기는 것”이고, 반도체 제조공정에서의 식각은 “회로 패턴 형성에 필요하지 않은 부분을 제거하는 과정”을 의미하므로, 본건 물품은 “식각용 기기”의 부분품이 아닌 제8486.90- 9020호의 “기타 기기의 것”에 해당함 ㅇ 따라서, 본건 물품은 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제8486.90-2090호에 분류함 |
| 이미지건수 | 1 |
| 관련 이미지 |
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