| 참조번호 | 품목분류4과-16711 |
|---|---|
| 시행일자 | 2023-11-09 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-3050 |
| 연도 | 2023 |
| 회 | 06 |
| 품명 | Ti Target with Backing Plate; LJ01-11411A |
| 물품설명 |
ㅇ 물품개요
- 티타늄 재질의 타겟(target)과 구리 재질의 백킹 플레이트(backing plate)가 일체로 결합되어 있는 사각형상의 물품으로, 평판디스플레이(OLED) 증착(deposition) 공정에 사용됨(크기: 190㎝×263㎝×3.4㎝) ㅇ 구성요소별 기능 - 타겟(target) : 티타늄 함량이 99.9% 이상으로, 디스플레이 증착공정에서 배선재 원료로 사용됨(180㎝×230㎝×1.6㎝) - 백킹 플레이트(backing plate) : 구리 함량 99.9% 이상으로, 높은 전도성과 열전도율을 갖으며, 내부에 냉각수 순환홈이 있어 증착 작업시 타겟의 온도상승을 방지하고 타겟을 챔버내에 고정시키는 역할을 함 - 효율적인 증착 공정을 위해 타겟은 일정량 소모되면 교체하여 사용하며, 백킹 플레이트는 일정기간 재사용됨 ㅇ 주변기기와의 연관도 - 디스플레이(TFT)에는 전자가 이동하는 얇은 금속성 배선이 필요한데 스퍼터링 공정을 통해 배선의 기반이 되는 막을 형성함 - 스퍼터링 원리는, 진공상태의 챔버에 아르곤 가스를 주입하한 후 증착물질(본건물품)에 마이너스 전압을 가하면 TFT 기판(+)과 증착물질(-) 사이에 전기장이 형성되고, 이 전기장에 노출된 아르곤 가스가 이온화되면서 챔버 내부에 강한 플라즈마가 발생하여 금속물질을 물리적으로 기판 위에 증착시키게 됨 - 본건물품은 스퍼터(sputter) 장비의 챔버안에 결합되어 사용되어짐 |
| 결정사유 |
ㅇ 본건 물품은 ‘타겟’과 ‘백킹 플레이트’가 일체로 결합되어 전체를 형성하 고 있는 복합물품이므로, 통칙 제3호 나목에 따라 본질적인 특성을 부여하는 구성요소로 분류하여야 함
- 2가지 구성요소 중, 진공 챔버 내에 장착되어 스퍼터링 기능에 직접적으로 관 여하는 필수 구성요소인 ‘백킹 플레이트’에 본질적 특성이 있다고 판단됨 ㅇ 관세율표 제8486호에는 ‘반도체 보울이나 웨이퍼ㆍ반도체디바이스ㆍ전자집적회 로ㆍ평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기’가 분류되 며, 제8486.40호에는 ‘평판디스플레이 제조용 기계와 기기’가, 제8486.90호에 는 ‘부분품과 부속품’이 세분류됨 - 같은 호 해설서 ‘(C)평판디스플레이 제조용 기계와 기기’에 대한 설명 부분에 ‘(7)화학기상증착기(CVD)와 물리기상증착기(PVD)’를 명시하고 있으며, ‘(E) 부분품과 부속품’에 대한 설명 부분에 “특히 이 호의 기계와 기기에 전용되 거나 주로 사용하는 툴홀더(tool holder)와 그 밖의 특수 부착물 등을 포함한 다.”고 규정하고 있음 ㅇ 본건 물품을 디스플레이 제조용 부분품과 부속품으로 분류할 수 있는지 보면 - 본건 물품은 디스플레이 ‘증착(deposition)’ 공정에 전용되는 필수 구성부품 으로, 증착기의 주요 구성요소인 챔버에 고정되도록 특정한 형상으로 설계‧제 작되어 있고, 기능면에서 플라즈마를 발생시킬 수 있도록 하는 도체 역할과 타겟을 일정 온도로 유지시키는 냉각(cooling) 기능, 타겟을 챔버 내에 고정 시키는 홀더 등의 역할을 겸하고 있으므로 증착기의 부분품과 부속품으로 분류함이 타당하다고 판단됨 ㅇ 따라서, 본건 물품은 평판 디스플레이(OLED) 제조용 기기의 부분품과 부속품으로 보아 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호‧제3호 나목 및 제6호에 따라 제 8486.90-3050호에 분류함 |
| 이미지건수 | 2 |
| 관련 이미지 |
|