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위원회결정사항 상세결과

상세결과 항목 : 참조번호, 시행일자, 시행기관, 결정세번, 연도, 회, 품명, 물품설명, 결정사유, 이미지건수, 관련 이미지

참조번호 품목분류4과-13255
시행일자 2023-06-01
시행기관 관세평가분류원
결정세번 8486.90-3050
연도 2023
회 03
품명 PBN(Pyrolytic Boron Nitride) ①Crucible ②Plate
물품설명 ㅇ 물품개요

- 화학기상증착방식(CVD)*으로 제작된 특정 형상의 열분해 질화붕소(PBN, Pyrolytic Boron Nitride) 재질의 제품(①도가니 ②평판)으로, 유기발광다이오드(OLED) 디스플레이 제조시 유기물을 기판에 증착시키는 물리적 기상증착(PVD)** 장비 내부에 장착됨

* 화학기상증착법(CVD) - 열, 전계, 빛 등의 외부 에너지를 사용하여 원료가스를 분해시켜 화학적 기상반응으로 기판상에 박막을 형성시키는 기술

** 물리적 기상증착(PVD) - 고진공(高眞空)속에서 고체물질을 가열, 증발시키고 증발된 물질을 표면처리하고자 하는 기판(基板)(소재, 素材)에 응고 시켜 엷은 피막을 형성시키는 기술

- 규격 : ① (Crucible) 가로 11cm, 세로 11cm, 높이 30cm
② (Plate) 가로 11cm, 세로 11cm, 높이 0.5cm

- 용도 : 고온(1600∼1800℃)으로 가열된 유기물이 담겨 있는 내부 도가니의 외부를 ①PBN(Pyrolytic Boron Nitride; 열분해 질화붕소) Crucible로 씌우고, PBN Crucible 홈에 ②PBN Plate를 끼워 넣어 도가니를 고정하고 보호함

ㅇ 제조공정 : 흑연 재질의 금형을 제작 ➞ 전기가열(1700℃) ➞ 기체 원료 투입(염화붕소+암모니아) ➞ 기체 원료의 열분해로 금형 표면에 결정 생성 및 침전 ➞ Cl2 가스 방출 ➞ 냉각 후 금형에서 분리 ➞ 테두리 및 홀 가공 ➞ 산화 작업(겉표면 이물질 제거) ➞ 세척 및 포장


< 신청물품 ① Crucible > < 신청물품 ② Plate >
결정사유 ㅇ 관세율표 제16부 주 제2호 나목에 “그 밖의 부분품으로서 특정한 기계에 전용되거나 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호로 분류한다.”고 규정하고 있음

ㅇ 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)·반도체디바이스·전자집적회로·평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기”가 분류되며, 제8486.90호에는 “그 부분품과 부속품”이 세분류됨

- 같은 호 해설서 (C)그룹에서 “이 그룹에는 평판디스플레이 제조용의 기계와 기기가 포함된다”고 하면서, (7) 화학기상증착기(CVD)와 물리기상증착기(PVD) 등을 예시하고 있으며,

- (E)그룹에서 “이 호에는 이 호에 분류하는 기계와 기기의 부분품과 부속품을 포함한다. 이에 따라 이 호에 분류하는 부분품과 부속품에는 특히, 이 호의 기계와 기기에 전용되거나 주로 사용하는 툴홀더(tool holder)와 그 밖의 특수 부착물 등을 포함한다.”고 설명하고 있음

ㅇ 다만, 제84류 주 제1호 나목에서 “도자제의 기계류(예: 펌프)와 기계류(어떤 재료라도 가능하다)의 도자제 부분품(제69류)”를 제외하도록 규정하고 있으므로, 제6903호의 내화성 재료(질화붕소)로 되어 있는 본건 물품이 제84류에서 제외되는지를 보면,

- 제69류 주 제1호에서 이 류는 성형한 후에 불에 구워서 만든 도자제품에만 적용한다고 하면서, 다목에서 “도자제품은 무기성·비(非)금속성 재료를 일반적으로 실온에서 미리 성형한 후 이를 소성*(燒成; firing)하여 만든다.”고 규정하고 있음

* 요업 등의 광물질 가공 공업에서 널리 사용되는 고온처리의 한 방법으로, 광물류를 굽는 것을 말함 <출처 : 화학대사전>

- 본건 물품은 제69류 주 제1호에서 규정에서 제조공정과 달리, 기체 원료[염화붕소(BCl3), 암모니아(NH3)]를 1700℃ 이상의 고온에서 열분해하여 흑연 재질의 금형에 질화붕소(BN)를 생성시키는 화학기상증착방식(CVD)으로 만들어진 제품이므로 제69류의 범주로 볼 수 없음

ㅇ 본건 물품은 평판 디스플레이(유기발광다이오드 방식) 제조공정에 사용되는 ‘물리기상증착 장비(PVD)’에 결합되어 유기물이 담겨 있는 내부 도가니를 고정·보호하도록 특별히 설계·제작되어 있는 물품이므로, 해당 기기의 부분품과 부속품으로 분류함이 타당함

ㅇ 따라서, 본건 물품은 평판디스플레이 제조용 기계에 전용되거나 주로 사용되는 부분품과 부속품으로 보아 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제8486.90-3050호에 분류함
이미지건수 3
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