| 참조번호 | 품목분류3과-7037 |
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| 시행일자 | 2022-10-28 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9027.90-1000 |
| 연도 | 2022 |
| 회 | 08 |
| 품명 | Micro Cleaving System ; MC10 |
| 물품설명 |
ㅇ 물품개요
- 검사장비인 주사 전자현미경*(SEM; 실리콘 웨이퍼의 불량이나 결함 여부 등을 검사하기 위한 장치로 별도로 있음)에 사용할 시료 제작용 전처리 장비로, 일체로 된 현미경을 이용해 시료를 보면서 다이아몬드 칼날로 정밀하게 절단하게 됨 * Scanning Electron Microscope(SEM) ; 미세 전자빔을 시편의 정해진 영역에 주사하여, 3차원 미세형태나 화학조성, 원소분석 등을 정밀하게 검사할 수 있는 전자현미경 ㅇ 주요 구성요소 - MC10 본체 : 내부에 현미경과 Diamond knife로 구성됨 ●현미경 : Sample(불량 웨이퍼) 표면의 불량 부위(target) 확대용 현미경으로, 대물렌즈(5배 렌즈)와 고배율 비디오카메라가 내장되어 모니터상에서 1,000배의 줌이 가능함(접안경은 없음) ●다이아몬드 칼날 : 칼날과 척(chuck), 노브(knob) 등으로 구성 - PC 및 22인치 모니터 : 접안경이 없으므로 모니터를 통해 확인함 ㅇ 주요 사양 - 대상물 : 실리콘 웨이퍼(silicon wafer), 기타 GaAs, InP, 크리스탈 등 - 시료의 크기 : 최적 25×10㎜(최소 2×1㎜, 최대 80×15㎜), 두께 : 2㎜ - 정확도(타겟을 벗어날 수 있는 허용 오차) : ±5㎛ ㅇ 작동원리 1) 불량 부위가 확인된 샘플 준비 2) MC10 본체 내의 Chuck에 샘플을 놓고, 모니터에서 불량 위치를 확인 후 노브(knob)를 조절하여 타겟을 정 조준함 3) MC10 오른쪽에 장착된 노브를 사용하여 Diamond knife를 이동시킴 4) 샘플 타겟과 크로스 되는 오른쪽 끝 방향으로 지속적으로 돌려서 Diamond knife가 샘플을 반으로 절단함 |
| 결정사유 |
- 관세율표 제9027호에는 “물리나 화학 분석용 기기와 마이크로톰(microtome)” 등이 분류되고, HSK 9027.90-1000호에는 “마이크로톰”이 세분류됨
ㆍ같은 호 해설서에서 마이크로톰(microtome)에 대해 시료를 현미경 시험에 사용하기 위하여 그 두께를 엷게 절단하는데 사용한다고 하면서, 마이크로톰은 “수동식(직선형 면도칼 모양의 것), 회전식, 활주 이동식(sliding carriage type)(수평면이나 경사면)의 여러 가지의 것이 있다.”고 설명하고, ㆍ문헌상 정의에서도 마이크로톰은 “현미경 관찰을 위한 표본을 만들기 위해 시료를 일정한 두께로 자르는 기계”, 또는 “과학이나 의학에서 시료를 일정한 두께로 자르는 기계로 주로 현미경에 사용되며, 강철이나 유리, 다이아몬드 칼날을 사용한다.(출처: 위키백과 등)”고 설명하고 있음 - 본건 물품은 전자현미경 검사에 사용하기 위해 시료(실리콘 웨이퍼)를 다이아몬드 칼날로 아주 작게 절단하는 기계이므로 마이크로톰(microtome)의 범주에 부합된다고 판단됨 - 따라서 본건 물품은 마이크로톰(microtome)의 일종으로 보아, 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제9027.90-1000호로 분류함 |
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