| 참조번호 | 품목분류4과-4994 |
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| 시행일자 | 2022-07-19 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8414.10-9010 |
| 연도 | 2022 |
| 회 | 06 |
| 품명 | Vacuum Pump(Turbo molecular Pump - Ni Plating) ; STP-IXA4506 CV PUMP VG350 W/SP KR CON CHEM |
| 물품설명 |
ㅇ 물품개요
- 자기부상 방식의 ‘터보 분자펌프’로, 흡입구를 통해 들어온 진공 용기(Chamber) 내의 투입 가스 및 반응물질들을 압축하여 배기구를 통해 배출시켜 진공용기 내부를 진공상태로 만듦(용량 : 4300ℓ/ｓ, 도달진공도 : 10-9 torr) - 기본 모델인 STP-IXA4506(터보 분자펌프)에 회전자 니켈 코팅과 TMS (온도조절장치, 70℃온도 유지)를 추가 장착 - 용도 : 반도체 제조시 건식 식각(Dry Etch) 공정에 사용 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제8414호에는 “기체펌프나 진공펌프 … ”가 분류되며, 소호 제8414.10호에는 “진공펌프”가 세분류되며,
- 같은 호의 해설서에서 “이 호에는 공기나 그 밖의 기체를 압축하거나 진공상태로 만들기 위한 수동이나 동력구동식의 기계와 공기나 그 밖의 기체를 순환시키는 기계를 포함한다.”라고 설명하면서, - “(A) 펌프와 압축기” 그룹에서 “ … 분자펌프(molecular pumps)와 인트랩먼트 펌프(entrapment pump)[게터 펌프(getter pumps)·크리오 펌프(cryo pumps)]와 같이 특별히 진공을 만들기 위한 특수형의 것도 있다.”라고 설명하고 있음 ㅇ 본건 물품은 진공을 만들기 위한 자기부상 방식의 터보 분자펌프인 ‘진공펌프’이므로 제8414호에 부합하는 물품으로, - 본건 물품은 국제반도체장비재료협회(SEMI)에서 반도체 제조용 터보분자펌프로 인증을 취득한 점, 반도체 제조장비 사양에 맞게 ‘회전자 니켈 코팅’ 처리와 ‘TMS’를 장착한 점 등을 고려했을 때, 본건 물품은 ‘반도체 제조용에 전용 또는 주로 사용하는 진공펌프’로 분류함이 타당함 ㅇ 따라서 본건 물품은 ‘반도체 제조에 전용되거나 주로 사용되는 종류의 진공펌프’로 보아 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제8414.10-9010호에 분류함 |
| 이미지건수 | 1 |
| 관련 이미지 |
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