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위원회결정사항 상세결과

상세결과 항목 : 참조번호, 시행일자, 시행기관, 결정세번, 연도, 회, 품명, 물품설명, 결정사유, 이미지건수, 관련 이미지

참조번호 품목분류4과-7385
시행일자 2021-09-15
시행기관 관세평가분류원
결정세번 8486.40-1090
연도 2021
회 03
품명 AUTOMATIC EXPOSURE SYSTEM ; HAP 1050 FX
물품설명 ㅇ 물품 개요

- OLED 디스플레이 제조공정 중 유기물 증착과정에 사용되는 메탈마스크(FMM)*의 소재에 패턴을 투영하기 위해 노광하는 장비로서, 권출부, 노광부, 마스크 교환 작업대, UV광원 제어반, 온·습도 제어장치 등이 하나의 기계로 구성되어 있음

* 메탈마스크(Fine Metal Mask, FMM) : OLED 디스플레이에서 발광체인 유기물을 기판에 증착할 때 사용하는 마스크의 종류. Fine Metal Mask라는 단어 뜻 그대로 ‘작고 촘촘하게 구멍이 있는 얇은 금속성 마스크’로서, 증착할 발광 유기물이 마스크를 통과해 기판 위의 원하는 위치에 증착되도록 유도하는 역할을 함


< 물품 이미지 >

ㅇ 기능

- 포토레지스트(PR)이 도포된 메탈 마스크의 소재*에 자외선 광을 조사하여 포토 마스크 패턴을 메탈 마스크 소재에 투영

* 철(Fe, 63.25%), 니켈(Ni, 36.48%) 등 성분으로 구성

ㅇ 주요 구성요소

- 기재 권출부 : 감광재(포토레지스트)가 양면으로 도포된 금속 박판이 감겨있는 롤(Roll)을 풀어주며 노광부로 공급

- 노광부 : UV광원을 조사하여 패턴이 형성된 별도의 Mask Glass의 패턴을 금속 박판에 투영하여 소재를 노광시킴

- 마스크 교환 작업대 : 박판에 패턴을 투영하기 위해 사용되는 마스크를 교환하기 위한 작업대

- 기재 권취부 : 패턴이 형성된 박판을 롤(Roll)로 되감기 위한 장치
결정사유 ㅇ 관세율표 제84류 주9호 다목에서는 “제8486호에는 다음에 전용되거나 주로 사용되는 기계를 분류한다.”라고 해설하면서, 1) 마스크와 레티클(reticle)의 제조ㆍ수리에 전용되거나 주로 사용되는 기계를 규정하고 있음

ㅇ 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)ㆍ반도체디바이스ㆍ전자집적회로ㆍ평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호 다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품”이 분류되며,

- 소호 제8486.40호에 ‘이 류의 주 제9호 다목에서 특정한 기계와 기기’가 제8486.40-10호에는 ‘마스크와 레티클의 제조용ㆍ수리용 기계와 기기’가 세분류됨

ㅇ 같은 호 해설서에서 “(1) 마스크(masks)와 레티클(reticles)의 제조용이나 수리용의 기계[예를 들면, 사진식의 포토마스크 제조용 기기(photographic production of photomasks)....]”라고 설명하고 있음

ㅇ 본건 물품은 OLED 디스플레이 제조용 마스크를 제조하는 과정에서 포토레지스트가 도포된 감광판에 적(R)·녹(G)·청(B) 패턴모양을 투영하기 위해 노광하는 장비로서, 제8486호에 분류될 수 있는지 검토해 보면,

- 제84류 주9호 다목에서 ‘마스크’를 사진식의 포토마스크로 한정하고 있지 않고, 메탈마스크는 평판디스플레이 제조시 기판의 원하는 위치에 필요한 패턴을 형성한다는 점에서 사진식의 마스크와 기능이 동일하며,

- 일반 사전상에도, 반도체에 사용되는 ‘마스크’에 대해 “반도체에 선택적인 증착이나 에칭을 하기 위해 특정한 부분이나 표면을 차폐하는데 사용한다.”라고 설명하고 있는 점 등을 고려시, 메탈마스크의 패턴을 투영하는데 사용되는 본건 물품 역시 제8486.40호의 범주에 포함된다고 볼 수 있음

ㅇ 따라서, 본건 물품은 마스크와 레티클의 제조용 기기에 해당되므로 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제8486.40-1090호에 분류함.

이미지건수 1
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