| 참조번호 | 품목분류3과-2618 |
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| 시행일자 | 2018-05-28 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9032.81-2091 |
| 연도 | 2018 |
| 회 | 03 |
| 품명 | Flow Controller ARC400; MP-FCHR-ME0200M-188; JAPAN |
| 물품설명 |
ㅇ 물품 개요
- 반도체 웨이퍼 세척장비(BLUEICE)에 장착되어 세척을 위한 약액의 분사 유량을 조절하기 위한 장치로, 플라스틱제 외함 내부에 연산부, 전공변환부, 제어밸브, 배압제어밸브, 유량계 등으로 구성되어 있음 ㅇ 구성 요소별 기능 ① 연산부 : 유량 목표치와 측정치를 비교 연산 ② 전공변환부 : 전공변환부는 연산부의 신호를 받아 제어밸브 상부에 있는 솔레노이드 밸브로 챔버의 공기압을 조정하여 제어밸브를 조절함 ③ 제어밸브(Control valve) : 챔버의 공기압력에 따라 제어밸브 개폐가 조절되어 유량이 조정됨 ④ 유량계 : 차압을 검출소자로 측정하는 차압식 유량계 ⑤ 배압제어밸브 : 스프링의 탄성을 이용하여 제어밸브와 유량계 사이의 압력을 일정하게 유지시킴 ㅇ 작동원리 - 제어밸브의 조절에 따라 투입되는 유량이 변동됨 → 유랑계에서 통과하는 유체의 양을 측정하여 연산부에 전송 → 연산부는 목표하는 유체의 양과 비교하여 전공변환부에 전기적 신호를 전송 → 전공변환부는 공급되는 공기압 조정 → 조정된 공기압으로 인해 다이어프램(diaphragm)이 상하로 움직임 → 챔버 내 공기압력 변화에 따라 제어밸브 개폐 조절 → 배압제어밸브를 통해 일정한 압력으로 약액 분사 < 물품 이미지> |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제9032호에는 “자동조절용이나 자동제어용 기기”가 분류되고, 제9032.81호에는 “액압식이나 공기식 기기”가 분류됨
- 관세율표 제90류 주 제7호에서 “제9032호는 다음 각 목의 물품에만 적용한다.”고 규정하면서 “가. 액체나 기체의 유량ㆍ깊이ㆍ압력이나 그 밖의 변량(變量)의 자동제어용 기기나 온도의 자동제어용 기기(자동제어하여야 할 요소에 따라 변화하는 전기적 현상으로 작동하는 것인지에 상관없으며 지속적으로나 주기적으로 이 요소의 실제 값을 측정하여 이 요소를 장해가 발생하여도 안정적으로 목표치에 맞추고 유지하도록 설계되어 있다)”고 규정하고 있음 - 같은 호 HS 해설서에서 “(Ⅰ) 액체나 기체의 유량ㆍ수위ㆍ압력ㆍ그 밖의 변량(變量 : variable)의 자동조정용 기기나 온도자동조정용 기기”는 주로 “(A) 탱크의 압력이나 깊이, 실내의 온도 등의 조절해야 할 변량(變量 : variable)을 측정하는 기기, (B) 희망치(desired value)와 측정치(measured value)를 비교하고 또한 아래 (C)에 기재된 장치를 작동시키는 제어장치, (C) 기동장치ㆍ정지장치ㆍ조작장치”로 구성된다고 설명하고 있으며, - 또한 “자동조절기기(automatic regulator)는 전기식ㆍ압축공기식ㆍ유압식 작동기에 연결되며, 작동기(actuator)는 조절 변량(變量)을 희망치로 환원하게 된다.”고 설명하고 있음 ㅇ 본건 물품은 연산부(제어장치), 전공변환부, 유량계(측정장치) 등으로 구성되며, 공기압력으로 작동기(actuator)인 제어밸브를 작동시켜 반도체 웨이퍼 세척을 위한 약액의 분사 유량을 자동 조절하므로 공기식 자동조절기기에 해당함 ㅇ 따라서, 본건 물품은 공기압력을 사용하여 유량을 자동 조정하는 기기로 반도체 제조용 기기의 것으로 보아 관세율표 해석에 관한 통칙1호 및 6호에 따라 HSK 9032.81-2091호에 분류함 |
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