| 참조번호 | 품목분류4과-1817 |
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| 시행일자 | 2018-04-17 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2010 |
| 연도 | 2018 |
| 회 | 02 |
| 품명 |
Ring ; EDGE, 5XX, 296MM, NP 50D, 13.6D 등 5개 물품*
* ② HE,HS,W/FLAT;716-072576-415 ③ EDGE,5XX,296MM,NP45D,13.3D④ HE,HS,W/FLAT;716-072576-418 ⑤ XX,CER,296MM,NP35D,13.6D |
| 물품설명 |
ㅇ 개요
- 반도체디바이스 제조 장비인 건식 플라즈마 식각 기기의 챔버 내 설치되는 도프(doped)된 실리콘 재질의 링 형상의 물품*으로 내경부에 300mm 웨이퍼를 놓을 수 있게 홈가공 되어 있음 *〔규격〕외경 335.3～354.4mm, 내경 296.2～296.4mm, 두께 4.95～7.9mm - (용도) 건식 플라즈마 식각 기기 챔버에서 웨이퍼 식각 공정 중 정전척 위에 웨이퍼를 지지하고, 플라즈마를 웨이퍼로 모아줌 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)·반도체디바이스·전자집적회로·평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품”이 분류되며,
- 같은 호 HS 해설서 (B) 반도체디바이스나 전자집적회로 제조용 기계와 기기 그룹에 ‘건식 플라즈마 식각 장비’를 예시하고 있고, - (E) 부분품과 부속품 그룹에서 “부분품의 분류에 관한 일반규정(제16부 총설 참조)에 의하여, 이 호에는 이 호에 분류하는 기계와 기기의 부분품과 부속품을 포함한다. 이에 따라 이 호에 분류하는 부분품과 부속품에는 특히, 이 호의 기계와 기기에 전용되거나 주로 사용하는 툴홀더(tool holder)와 그 밖의 특수 부착물 등을 포함한다.”라고 설명하고 있음 ㅇ 본건 물품은 제8486호에 분류되는 건식 플라즈마 식각장비의 챔버 내 설치되어 웨이퍼를 식각하기 위하여 잡아주는 홀더 기능을 하는 물품으로 반도체디바이스 제조용 기기에 전용되도록 특별히 설계된 부분품임 ㅇ 따라서, 본건 물품을 플라즈마아크방식에 의한 반도체재료의 건식식각 패턴용의 가공공작기계 부분품으로 보아 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 HSK 8486.90-2010호에 분류함 |
| 이미지건수 | 1 |
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