| 참조번호 | 품목분류3과-3300 |
|---|---|
| 시행일자 | 2016-08-05 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.40-1020 |
| 연도 | 2016 |
| 회 | 04 |
| 품명 | Photomask Repair System; MR8000; JAPAN |
| 물품설명 |
ㅇ 개요
- 마스크 표면에 홈이 파이거나 돌출되는 손상된 영역에 집속 이온빔(FIB) 조사와 특정 가스를 분사하는 방식으로 오엘이디(OLED) 제조용 포토마스크에 발생된 결함(Defect)을 수리하는 기기 * Focused Ion Beam(FIB) : Gallium Ion에 의한 Ion Beam을 시료에 주사 시 발생하는 2차 이온 또는 2차 전자 등을 통해 가공, 분석, 관찰하는 원리 ㅇ 수리방식 및 작동순서 - 포토마스크 제조과정 중 발생된 결함을 집속이온빔(FIB) 방식으로 "에칭[Etching(Milling)]"과 "증착(deposition)" 방식으로 진행 ① 에칭(Etching, Milling) : 결함에 집속이온빔(FIB)을 주사하면 충돌에 의해 격자 구조 및 원자간 결합이 파괴되면서 제거되는 원리를 이용하며, 반응성 요오드가스를 사용함으로써 에칭 선택성과 에칭율을 향상시킬 수 있음. 밀링 방식이 적용되는 결함의 유형으로는 마스크 표면에 불필요한 "점"이나 "연장", 패턴 간에 "이어짐"이 발생하는 형태로 "Cr Spot", "Cr Extension", "Cr break" 등이 있음(발생 빈도: 80% 이상) ② 증착 : 결합에 집속이온빔을 주사하면 피렌가스와 반응하여 증착막이 형성되는 원리를 이용. 증착 방식이 적용되는 결함의 유형으로는 오버 에칭(Over Etching)이 되어 발생하는 "흠"이나 포토레지스트 도포 시 기포로 인한 "Pin Hole" 등이 있음 (발생 빈도: 15% 이하) |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제84류 주 제9호 다목에 “제8486호에는 마스크의 제조·수리에 전용되거나 주로 사용되는 기계를 분류한다.”라고 규정하고 있고,
- 제8486.40호에는 “이 류의 주 제9호 다목에서 특정한 기계와 기기”를 분류토록 규정하고 있는 바, 본건 물품은 마스크 수리에 주로 사용되는 물품이므로 제8486.40호에 분류됨 ㅇ 본건물품은 포토 마스크 결함을 포커스드 이온빔(FIB)을 이용하여 밀링 또는 증착 방식으로 수리하는 다기능기계에 해당되므로 제16부 주 제3호에 따라 주된 기능을 수행하는 기계로 분류하여야 함 ㅇ 본건 물품의 주된 기능을 살펴보면, - 포토 마스크 결함의 80% 이상은 마스크 표면에 불필요한 점, 연장, 패턴 간 이어짐 등으로 해당 결함 부위를 밀링기능을 이용하여 수리하고, 증착 방식에 의해 수리를 하는 경우에도 증착 작업 후에 밀링 작업을 수행하므로 주된 기능은 밀링에 있다고 보는 것이 타당함 - 한편, 오버 에칭(Over Etching) 되어 발생하는 "흠"이나 포토레지스트 도포 시 기포로 인한 "Pin Hole" 등의 결함은 증착 방식으로 수리가 이루어지나 포토 마스크 결함의 15% 이하를 차지함 ㅇ 따라서, 본건 물품은 재료를 제거하는 특성을 가진 이온빔을 사용하고, 마스크 수리의 주기능이 이온빔에 의하여 재료를 제거하는 밀링(에칭)방식임을 고려할 때, 마스크와 레티클을 처리ㆍ수리하기 위한 포커스드 이온빔(FIB) 밀링기에 해당하므로 관세율표 통칙 제1호 및 제6호에 따라 HSK 8486.40-1020호에 분류함 |
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