| 참조번호 | 품목분류2과-466 |
|---|---|
| 시행일자 | 2008-12-29 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 제9030.82-0000호 (12회 관세품목분류위원회 결정) |
| 연도 | 2008 |
| 회 | 12 |
| 품명 | Array Tester System ; AC-4780 |
| 물품설명 |
- 본 장비는 TFT LCD를 구성하는 상판(Color Filter Array)과 하판(TFT Array 기판)인 두기판을 합판하기 전에, TFT LCD 하판의 TFT(박막 트랜지스터, Thin Film Transistor)의 양·불량을 검사하는 장비로
- 검사는 상·하판이 합착된 시뮬레이션 상태에서 측정됨 - TFT공정이 완성된 TFT 기판이 검사기에 로딩되며 - LCD 상판 기능은 해당기기(측정기)의 모듈레이터에서 - 게이트 및 데이타 구동 드라이버의 기능은 (측정기의) 전압인가 기능으로 수행되고 - 반사판의 기능은 광원발생장치인 (측정기의) Illuminator에서 수행됨 - 검사대상 LCD 하판(TFT 기판)이 로봇암과 컨베이어를 통해서 로딩되어지면, 유리기판(규격 2,200mm×2,500mm, 두께 : 0.63~1.1mm)에 배열된 TFT소자(5,760×1,080×2 = 12,441,600개)에 전압을 인가시켜 개별 TFT 소자의 작동상태를 통해 전기적인 결함(Fail/Pass)을 측정함 ㅇ 주요 구성요소 및 요소별 기능 ① One Granite Process : 측정장소 ② Vios Unit : 광원발생장치인 Illuminator와 LCD 상판기능을 수행하도록 액정으로 채워진 Modulator, 반사된 빛을 감지하는 CCD카메라로 구성 ※ 최소검출 가능한 능력을 나타내는 카메라의 분해능은 44㎛ ⇒ Sub-Pixel(200㎛ x 600㎛) 개당 약 70개 정도로 분해 가능 ③ Infeed/Outfeed Module : 측정대상 LCD 유리기판 이송장치 ④ Electronic Cabinet : 전기제어반 ⑤ E-Chamber : 설비전체를 보호하는 쳄버 ㅇ 측정원리 ① Gate/Data Line 부분의 Shorting Bar Pad에 일정 전압을 인가하면 전류는 TFT 3단 소자를 구성하는 Source에서 Drain을 통해 기계 상부에 설치된 모듈레이터 내의 액정배열을 변화시킨 후 ② 광원발생장치로 빛을 LCD 하판에 조사시켜, 반사되는 빛의 양을 카메라로 읽어들여 Image Processor와 VME Tranlator에서 전압값으로 변환 ③ 표준 전압값을 기준으로 각 TFT의 양·불량을 검출 ㅇ 세부 결함 측정 내용 : Data Sheet에 게기된 결함내용 ① Point Defect : 점불량에 해당되는 부분으로 TFT의 작동시 생기는 TFT채널의 전기적인 세기를 통해 TFT의 불량여부를 검사(흑/백으로 표시됨) ② Line Short Defect : Gate, Data, Common 등 라인간 합선여부를 검사 ③ Inter-Pixel Defect : 한개의 TFT는 채널을 중심으로 두개의 구역(Zone)으로 형성되는데, 해당 구역(드레인 역할을 하는 픽셀 전극을 의미)간 합선 또는 인접한 TFT 사이의 합선을 검사 ④ Pixel Type : 드레인 역할을 하는 픽셀 전극은 다양한 패턴을 만들 수 있는데 이러한 패턴에 상관없이 측정이 가능함 ⑤ Classification : TFT제조공정 중 식각공정에서 식각 정도에 따라 불량의 정도가 달라질 수 있는데 이러한 불량의 차이도 검사가 가능함(전계의 강/약으로 측정) ⑥ False Defect : 총 20개 액정표시 유리기판에 형성된 총 결함 가운데 TFT 수리기에 의해 불량으로 확정되는 검사 오류율은 10%이하(검사신뢰도를 의미함) ⑦ Advanced Defect Detection Package : 선택사양으로 불량 드레인이 X,Y 좌표상 어느 부분인지 알려주는 기능 |
| 결정사유 |
- 본 품은 TFT-LCD 하판 유리기판에 전기적인 스위칭 기능(on/off)을 수행하는 TFT 12,441,600개를 형성시킨 후,
- 유리기판에 형성된 게이트/데이타 라인의 shorting bar pad에 일정전압을 인가하고 - 설비에 장착된 모듈레이터 속 액정 분자의 전기 광학적 변화에 의해 변조되어 나오는 빛을 CCD카메라에서 읽어들여 이를 전압값에 대비시켜 LCD 유리기판에 형성된 TFT의 채널 결함(픽셀 불량)/라인 불량/Short 불량을 검사하는 기기로 - 측정 대상체에 인가하는 신호의 값은 기본적으로 전기적 량이며, 광학적 변환과 디지털 신호 변환은 전기파형을 이미지로 처리하기 위한 요소에 해당되고, 전기적 량의 Low/High 값에서 당해 기기의 결함은 감지되며, 이를 이미지화하기 위한 광변환과 디지털수치화 과정은 불량 검사(Fail/Pass)를 위한 부수적 기능에 해당됨(9030호 분류이유) - 박막 트랜지스터인 TFT는 소스(source), 드레인(drain), 게이트(gate)로 형성되는 바, - 게이트 라인의 결함 측정은 TFT의 게이트 부분에 해당되고 - 데이터 라인의 결함 측정은 TFT의 소스 부분에 해당되며 - 화소 전극(pixel electrode)의 결함 측정은 TFT를 구성하는 Drain 부분에 해당되는 것으로 - 이 모든 결함 측정 부분은 TFT 측정에 집중되어 있음 - 아울러, 박막 트랜지스터(TFT ; Thin Film Transistor)는 주 전류가 전압에 따라 증감 컨트롤 하는 것으로 주 전류의 통로는 채널이며, 입구부분을 소스로 출구쪽은 드레인이며, 이 채널 양쪽의 극은 게이트라 일컫는 단극성 트랜지스터로 관세율표제8541호해설서(Ⅱ)(2)에 해당되는 전계 효과형트랜지스터에 해당되는 반도체 소자에 해당되는 물품임 - 따라서 본 물품은 ‘반도체 소자’인 ‘TFT'의 양·불량을 검사하는 장비이므로 제9030.82-0000호에 분류함. |
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