| 참조번호 | 품목분류2과-373 |
|---|---|
| 시행일자 | 2008-10-28 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 제7308.90-9000호 (09회 관세품목분류위원회 결정) |
| 연도 | 2008 |
| 회 | 09 |
| 품명 | Structures ; Anti-Vibration System for Nano Prober(N-6000) ;; JP |
| 물품설명 |
- 반도체 웨이퍼상에 형성된 칩의 전기적 특성을 측정하는 장비인 Nano Prober N-6000 저부에 설치하여 바닥에서 장비로 유입되는 진동을 효율적으로 흡수하여 제거함으로써, 반도체 칩의 전기적 특성에 대한 정밀 측정을 위해 주문 제작된 장비로 지면을 파서 시공하여 설치하는 것이 바람직하나, 이미 장치가 설치된 경우에는 지면작업이 불가능하므로 제진대 위에 기계를 얹어 놓는 방법으로 시공된 장비
ㅇ 바닥에서 장비로 유입되는 진동을 흡수하여 제거할 목적으로, 강제의 상판과 하판사이에 이격구조를 위해 공기 스프링, 자동 레벨조정기, 방지 고무, 댐퍼, 공기 탱크, 스톱 밸브, 정밀 레귤레이터, 필터 레귤레이터, 튜브, 스로틀 밸브 등을 부착하여 제조한 것(1,820×2,210×200mm, 중량 900kg) ㅇ 주요 구성요소별 기능 ① 상판 : 본체의 하중을 지지해주기 위한 장비의 Foot과의 접촉판 ② 하판 : 본체의 하중을 지지해주기 위한 장비의 바닥면과 접촉판 ③ Air-Damper : 4군데에서 공기를 이용하여 상부 Plate를 부상시키는 방식으로 장비로 유입되는 진동요소를 제거하여 수평을 유지함 ④ Air-Line : 각 Air Damper에 공기주입을 위한 Air Line ㅇ 동작원리 - 장비가 설치될 장소를 정하여 제진대를 놓는다. SUS재질로 제작되었으며 Nano-Prober에 설치되면 움직일 수 없는 상태가 되므로 유지공간을 고려하여 설치됨 - Main Air Line에 제진대의 Air Line을 연결하여 각 Air Damper에 Air가 주입되면 상판은 부상하게 된다. - 설치된 제진대 위에 N-6000과 EBAC Unit를 올려 결선 및 조립하게 되면 제진대 위의 장비는 진동의 영향으로부터 벗어나게 된다. |
| 결정사유 |
- 웨이퍼상에 형성된 반도체 칩의 전기적 특성을 측정하는 Nano-Prober 6000 장비와 관련하여, 미세한 외부 진동방지를 위해 설계된 것으로 설치구조상 이러한 물품은 콘크리트 바닥면을 시공해서 설치하는 것이 바람직한 방식이나
- 이미 장치가 설치된 경우에는 지면작업이 불가능하므로 본건 물품을 기계 저부에 설치하여 기계의 중량지지 및 공장바닥에서 전달되는 외부 진동을 흡수·제거하기 위해 진동의 크기와 방향 등에 맞추어서 제작된 것임 - 따라서 본건 물품은 일단 공장에 고정 설치되면, 계속 설치된 위치에서 기계로 전달되는 진동방지기능을 수행하는 것으로, 제7308호 해설서의“이 호에 있어서 이러한 구조물은 일단 설치되면 대체로 계속 설치된 장소에 남게되는 것이 특징이다.....상점, 공장, 창고 등에서의 조립용 선반과 고정시설”에 해당되는 ‘철강제 구조물’이므로 제7308 .90-9000호에 분류함. |
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